申请/专利权人：长江存储科技有限责任公司

申请日：2020-07-14

公开（公告）日：2020-10-23

公开（公告）号：CN111816599A

主分类号：H01L21/68(20060101)

分类号：H01L21/68(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.05.18#授权;2020.11.10#实质审查的生效;2020.10.23#公开

摘要：该发明涉及一种晶粒定位器及晶粒的定位方法，其中所述晶粒定位器包括透明板，所述透明板表面设置有多个定位单元，所有定位单元均包括坐标标记，且各个定位单元的坐标标记不同，且在所述透明板放置到所述晶圆上方时，所述定位单元与晶圆的至少一个晶粒对应设置。所述晶粒定位器及晶粒的定位方法能够将晶粒状态图上的失效晶粒坐标快速对应到晶圆表面的具体晶粒，在做失效分析的过程中能快速准确找到目标晶粒，加快了失效晶粒的筛选速度，提高了失效晶粒的确认准确率，侧面提高了所述芯片的生产良率。

主权项：1.一种晶粒定位器，其特征在于，包括透明板，所述透明板表面设置有多个定位单元，所有定位单元均包括坐标标记，且各个定位单元的坐标标记不同，且在所述透明板放置到所述晶圆上方时，所述定位单元与晶圆的至少一个晶粒对应设置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长江存储科技有限责任公司 晶粒定位器及晶粒的定位方法

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