申请/专利权人：杭州富士达特种材料股份有限公司

申请日：2020-08-05

公开（公告）日：2020-10-23

公开（公告）号：CN111810833A

主分类号：F17C3/08(20060101)

分类号：F17C3/08(20060101);F17C1/12(20060101);F17C13/00(20060101);F04F9/00(20060101);F04F9/08(20060101);F04C25/02(20060101);F04C18/12(20060101);F04C28/24(20060101);F04C28/28(20060101);B01J19/14(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.11.10#实质审查的生效;2020.10.23#公开

摘要：本发明涉及一种真空多层绝热低温容器夹层用双程抽真空系统及抽真空方法，包括抽真空单元、氮气置换单元和控制单元；抽真空单元包括短程抽气机组和长程抽气机组，两者分别通过抽真空管路与真空多层绝热低温容器夹层连通；短程抽气机组包括与抽真空管路连通的油扩散真空泵以及与油扩散真空泵连通的双级旋片真空泵；长程抽气机组包括与抽真空管路连通的罗茨真空泵以及与罗茨真空泵连通的单级旋片真空泵；氮气置换单元包括氮气源、连接在氮气源和抽真空管路之间的气体加热器以及与真空多层绝热低温容器夹层连通的自动出气控制阀门。本发明缩短抽空时间，获得优异的夹层真空度指标，节约工艺成本、简化操作，解决突然停电时泵油反抽进入夹层的问题。

主权项：1.一种真空多层绝热低温容器夹层用双程抽真空系统，其特征在于：其包括抽真空单元、氮气置换单元和控制单元；所述的抽真空单元包括分别通过抽真空管路与真空多层绝热低温容器夹层连通的短程抽气机组和长程抽气机组；所述的短程抽气机组包括与抽真空管路连通的油扩散真空泵以及与油扩散真空泵连通的双级旋片真空泵；所述的长程抽气机组包括与抽真空管路连通的罗茨真空泵以及与罗茨真空泵连通的单级旋片真空泵；所述的氮气置换单元包括氮气源、连接在氮气源和抽真空管路之间的气体加热器以及与真空多层绝热低温容器夹层连通的自动出气控制阀门；所述短程抽气机组、长程抽气机组及氮气置换单元均与控制单元通信连接。

全文数据：

权利要求：

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