申请/专利权人:长江先进存储产业创新中心有限责任公司
申请日:2020-08-27
公开(公告)日:2020-10-23
公开(公告)号:CN111816766A
主分类号:H01L45/00(20060101)
分类号:H01L45/00(20060101);H01L27/24(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2020.11.27#授权;2020.11.10#实质审查的生效;2020.10.23#公开
摘要:本公开实施例公开了一种相变存储器及相变存储器的制作方法,所述相变存储器包括:由下至上依次层叠设置的第一导电线、相变存储单元以及第二导电线;其中,所述第一导电线和第二导电线平行于同一平面且彼此垂直;所述相变存储单元与所述第一导电线和第二导电线均垂直;所述相变存储单元包括:由下至上依次层叠设置的隧道势垒层、第一电极层、选通层、第二电极层、相变存储层和第三电极层;其中,所述第一电极层,用于阻挡所述隧道势垒层和所述选通层之间的扩散;所述隧道势垒层具有开启状态和关闭状态;其中,处于所述开启状态的所述隧道势垒层导电,处于所述关闭状态的所述隧道势垒层电绝缘。
主权项:1.一种相变存储器,其特征在于,包括:由下至上依次层叠设置的第一导电线、相变存储单元以及第二导电线;其中,所述第一导电线和所述第二导电线平行于同一平面且彼此垂直,所述相变存储单元与所述第一导电线和第二导电线均垂直;所述相变存储单元包括:由下至上依次层叠设置的隧道势垒层、第一电极层、选通层、第二电极层、相变存储层和第三电极层;其中,所述第一电极层,用于阻挡所述隧道势垒层和所述选通层之间的扩散;所述隧道势垒层具有开启状态和关闭状态;其中,处于所述开启状态的所述隧道势垒层导电,处于所述关闭状态的所述隧道势垒层电绝缘。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 长江先进存储产业创新中心有限责任公司 相变存储器及相变存储器的制作方法
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