申请/专利权人：上海华力微电子有限公司

申请日：2020-08-28

公开（公告）日：2020-10-23

公开（公告）号：CN111816594A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.12.02#授权;2020.11.10#实质审查的生效;2020.10.23#公开

摘要：本发明提供了一种快速热退火设备，包括：反应室；预热灯源，设置于所述反应室顶部；晶圆测温器，设置于所述反应室内以实时测量晶圆的温度；腔壁测温器，设置于所述反应室内以实时测量所述反应室的温度；加热线圈，设置于所述反应室的腔壁上；控制模块，设置于所述反应室的腔壁上，用于根据所述腔壁测温器和或晶圆测温器获取的温度控制所述预热灯源及所述加热线圈的开关或功率大小。本发明解决了现有技术中晶圆受热不均导致品质下降的问题。

主权项：1.一种快速热退火设备，其特征在于，包括：反应室；预热灯源，设置于所述反应室顶部；晶圆测温器，设置于所述反应室内以实时测量晶圆的温度；腔壁测温器，设置于所述反应室内以实时测量所述反应室的温度；加热线圈，设置于所述反应室的腔壁上；控制模块，设置于所述反应室的腔壁上，用于根据所述腔壁测温器和或所述晶圆测温器获取的温度控制所述预热灯源及所述加热线圈的开关及功率。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海华力微电子有限公司 快速热退火设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD