申请/专利权人：信越化学工业株式会社

申请日：2015-12-18

公开（公告）日：2020-10-23

公开（公告）号：CN105717744B

主分类号：G03F7/039(20060101)

分类号：G03F7/039(20060101);C08F220/28(20060101);C08F220/32(20060101);C08F220/38(20060101);C07C69/533(20060101);C07C69/54(20060101)

优先权：["20141218 JP 2014-256295","20150911 JP 2015-179394"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.10.23#授权;2016.09.14#实质审查的生效;2016.06.29#公开

摘要：提供具有多个叔醇羟基的单体。通过将该单体聚合而得到的有用的聚合物。由包含该聚合物的抗蚀剂组合物，以高分辨率形成在碱显影剂中不可溶并且具有高耐蚀刻性的负型图案。

主权项：1.聚合物，其由具有式3的重复单元、选自具有式A-D的重复单元中的至少一种的重复单元、和选自具有式f1-f3的重复单元中的至少一种的任选重复单元组成： 其中R1为氢或甲基，R2和R3各自独立地为直链、支化或环状的C1-C10一价烃基，R2和R3可彼此键合以与它们结合的碳原子形成脂环族基团；X1为直链、支化或环状的C1-C20二价烃基，其中任意成分-CH2-结构部分可被-O-或-C＝O-替代；Z1为选自下式组成的组中的基团， 其中虚线表示价键；k1为0或1，和k2为2-4的整数， 其中R1如上定义，ZA为C1-C20含氟代醇的基团，ZB为C1-C20含酚羟基的基团，ZC为C1-C20含羧基基团，ZD为具有内酯结构、磺内酯结构、碳酸酯结构、环状醚结构、酸酐结构、烷氧基羰基、磺酰胺或氨基甲酰基结构部分的取代基，X2为单键、亚甲基、亚乙基、亚苯基、氟代亚苯基、亚萘基、-O-R01-或-C＝O-Z2-R01-，Z2为氧或NH，R01为直链、支化或环状的C1-C6亚烷基,直链、支化或环状的C2-C6亚烯基,亚苯基或亚萘基，其可含有羰基、酯、醚或羟基结构部分， 其中R11各自独立地为氢或甲基，R12为单键,亚苯基,-O-R21-,或-C＝O-Z22-R21-，其中Z22为氧或NH和R21为直链、支化或环状的C1-C6亚烷基，直链、支化或环状的C2-C6亚烯基或亚苯基，其可含有羰基-CO-,酯基团-COO-,醚基团-O-或羟基，L为单键或-Z33-C＝O-O-，其中Z33为直链、支化或环状的C1-C20二价烃基，其可被杂原子取代，Z11为单键,亚甲基,亚乙基,亚苯基,氟代亚苯基,-O-R22-,或-C＝O-Z44-R22-，其中Z44为氧或NH和R22为直链、支化或环状的C1-C6亚烷基,直链、支化或环状的C2-C6亚烯基或亚苯基，其可含有羰基、酯基团、醚基团或羟基基团，M-为非亲核抗衡离子，R13-R20各自独立地为直链、支化或环状的C1-C20一价烃基，其可被杂原子取代或者分隔，R13和R14这一对可彼此键合以与它们结合的硫原子形成环，并且R15、R16和R17的任意两个以上或者R18、R19和R20的任意两个以上可彼此键合以与它们结合的硫原子一起成环。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 信越化学工业株式会社 单体、聚合物、抗蚀剂组合物和图案化方法

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