申请/专利权人：诺威量测设备股份有限公司

申请日：2019-11-19

公开（公告）日：2020-10-23

公开（公告）号：CN211740135U

主分类号：G01B11/24(20060101)

分类号：G01B11/24(20060101);G01N21/27(20060101);H01L21/66(20060101)

优先权：["20181119 IL 263106"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.10.23#授权

摘要：本申请公开了一种测量系统，配置为与处理设备集成，处理设备用于对结构进行光学测量，测量系统包括：支撑组件，用于将处于测量中的结构保持在测量平面中，支撑组件被配置为能操作以沿着第一横轴移动；限定照明和收集光通道的光学系统，其中，照明和收集光通道中的至少一个支持倾斜光学测量方案；光学系统包括能移动的光学头，能移动的光学头包括形成照明和收集光通道的一部分的物镜；支架组件，配置为使光学头沿着朝向第一横轴的第二横轴移动；和光学窗口，位于支撑组件和物镜之间；其中，光学窗口位于物镜和测量平面之间。

主权项：1.一种测量系统，其特征在于，所述测量系统被配置为与处理设备集成，所述处理设备用于对结构进行光学测量，所述测量系统包括：支撑组件，用于将处于测量中的结构保持在测量平面中，所述支撑组件被配置为能操作以沿着第一横轴移动；限定照明和收集光通道的光学系统，其中，所述照明和收集光通道中的至少一个支持倾斜光学测量方案；所述光学系统包括能移动的光学头，能移动的所述光学头包括形成所述照明和收集光通道的一部分的物镜；支架组件，配置为使所述光学头沿着朝向所述第一横轴的第二横轴移动；和光学窗口，位于所述支撑组件和所述物镜之间；其中，所述光学窗口位于所述物镜和所述测量平面之间。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 诺威量测设备股份有限公司 测量系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD