申请/专利权人：南京晶升能源设备有限公司

申请日：2019-12-25

公开（公告）日：2020-10-23

公开（公告）号：CN211734529U

主分类号：C30B29/06(20060101)

分类号：C30B29/06(20060101);C30B15/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.10.23#授权

摘要：本实用新型公开了一种液动力旋流冷却感应加热真空炉体，包括内筒、外筒、位于内筒中的热场、上管帽、下管帽；下管帽中，下腔室的内壁内开设有若干下斜切孔，下斜切孔连通下腔室及夹层空间；下管帽还设有与下腔室连通的进液口；上管帽中，上腔室的内壁内开设有若干上斜切孔，该若干上斜切孔围绕上腔室的内壁设置，上斜切孔连通上腔室及夹层空间；上管帽还设有与上腔室连通的出液口。通过设置下斜切孔将冷却液以螺旋方式注入夹层空间，使冷却液在夹层空间内以螺旋状上升形成旋流，使冷却液能够将内筒的热量进行均匀吸热，通过上斜切孔，使冷却液自夹层空间向上腔室螺旋状的排出方式，进而使得内筒内的热场外表圆周方向温度更为均匀，为晶体生长提供更为优越的环境。

主权项：1.一种液动力旋流冷却感应加热真空炉体，其特征在于，包括内筒、围绕内筒同轴设置的外筒、位于内筒中的热场、上管帽、下管帽；内筒及外筒之间形成夹层空间；下管帽固定在内筒及外筒的下部，下管帽包括圆环形的下腔室，该下腔室的内壁围绕内筒且与内筒同轴设置；下腔室的内壁、内筒底部、外筒底部共同封闭夹层空间的底部，下腔室的内壁内开设有若干下斜切孔，该若干下斜切孔围绕下腔室的内壁设置，下斜切孔连通下腔室及夹层空间；下管帽还设有与下腔室连通的进液口；上管帽固定在内筒及外筒的上部，上管帽包括圆环形的上腔室，该上腔室的内壁围绕内筒且与内筒同轴设置；上腔室的内壁、内筒顶部、外筒顶部共同封闭夹层空间的底部，上腔室的内壁内开设有若干上斜切孔，该若干上斜切孔围绕上腔室的内壁设置，上斜切孔连通上腔室及夹层空间；上管帽还设有与上腔室连通的出液口。

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权利要求：

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