申请/专利权人：深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司;华讯方舟科技有限公司

申请日：2019-12-31

公开（公告）日：2020-10-23

公开（公告）号：CN211740137U

主分类号：G01B11/24(20060101)

分类号：G01B11/24(20060101);G01B11/22(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.10.23#授权

摘要：本申请公开了一种多探头扫描成像系统，该多探头扫描成像系统包括：光源单元、参考臂光路单元、样品臂光路单元、样品检测台和信号处理单元；样品臂光路单元进一步包括探头选择装置以及与探头选择装置连接的至少两个探头；光源单元产生参考光和样品光，参考光通过参考臂光路，以形成参考回光；样品光通过至少两个探头中的一个探头照射到样品检测台的待检测样品上，以形成样品回光；信号处理单元探测参考回光和样品回光干涉产生的干涉光谱，并基于干涉光谱计算待检测样品的深度信息。通过上述方法，本申请可以实现多路扫描，分时对多样品进行扫描成像。

主权项：1.一种多探头扫描成像系统，其特征在于，所述多探头扫描成像系统包括：光源单元、参考臂光路单元、样品臂光路单元、样品检测台和信号处理单元；所述样品臂光路单元进一步包括探头选择装置以及与所述探头选择装置连接的至少两个探头；所述光源单元产生参考光和样品光，所述参考光通过所述参考臂光路，以形成参考回光；所述样品光通过所述至少两个探头中的一个探头照射到所述样品检测台的待检测样品上，以形成样品回光；所述信号处理单元探测所述参考回光和所述样品回光干涉产生的干涉光谱，并基于所述干涉光谱计算所述待检测样品的深度信息。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司;华讯方舟科技有限公司 一种多探头扫描成像系统

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