申请/专利权人：深圳市中光工业技术研究院

申请日：2019-12-31

公开（公告）日：2020-10-23

公开（公告）号：CN211728760U

主分类号：B24B37/10(20120101)

分类号：B24B37/10(20120101);B24B37/30(20120101);B24B37/34(20120101);B24B49/04(20060101);B24B37/005(20120101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.10.23#授权

摘要：本申请公开了一种晶圆抛光装置，该晶圆抛光装置包括支撑装置和夹持装置；支撑装置包括支撑基座以及设置于支撑基座上的抛光垫；夹持装置包括配重块、夹持基座及缓冲垫，配重块设置于夹持基座的一面，缓冲垫设置于夹持基座远离配重块的一面；其中，夹持装置用于将晶圆与抛光垫接触，配重块用于调整夹持装置的夹紧力，缓冲垫与晶圆的非抛光面粘接。通过上述方式，本申请能够通过配重块控制抛光的力度，降低对晶圆的伤害，提升产品的质量。

主权项：1.一种晶圆抛光装置，其特征在于，包括支撑装置和夹持装置；所述支撑装置包括支撑基座以及设置于所述支撑基座上的抛光垫；所述夹持装置包括配重块、夹持基座及缓冲垫，所述配重块设置于所述夹持基座的一面，所述缓冲垫设置于所述夹持基座远离所述配重块的一面；其中，所述夹持装置用于将晶圆与所述抛光垫接触，所述配重块用于调整所述夹持装置的夹紧力，所述缓冲垫与所述晶圆的非抛光面粘接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市中光工业技术研究院 一种晶圆抛光装置

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