申请/专利权人:中山新诺科技股份有限公司
申请日:2020-01-20
公开(公告)日:2020-10-23
公开(公告)号:CN211741041U
主分类号:G01N21/01(20060101)
分类号:G01N21/01(20060101);G01N21/27(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2020.10.23#授权
摘要:本实用新型公开了一种激光直接成像闭环实时检测系统,包括:光源模块;光斑均匀机构,用于将光源模块输出光斑均匀化;空间光调制器,用于把数字信号转化成光信号;光刻物镜,作为成像元件将调制后的光斑生成图像;第一分光反射镜,用于将图像分成一路作用于待曝光材料的透射输出、另一路作为检测信号的反射输出;数据采集装置,与第一分光反射镜的反射输出端对应以采集图像。通过设置分光反射镜将图像分成反射输出和透射输出,透射输出继承原有曝光功能,反射输出配合数据采集装置实时检测成像质量、成像效果,并可利用采集图像比对原始图像进行判断,从而形成激光直接成像的闭环控制。
主权项:1.一种激光直接成像闭环实时检测系统,其特征在于,包括:光源模块;光斑均匀机构,用于将所述光源模块输出光斑均匀化;空间光调制器,用于把数字信号转化成光信号;光刻物镜,作为成像元件将调制后的光斑生成图像;第一分光反射镜,用于将所述图像分成一路作用于待曝光材料的透射输出、另一路作为检测信号的反射输出;数据采集装置,与所述第一分光反射镜的反射输出端对应以采集图像、亮度数据,并生成图形文件信号;图形处理服务器,用于将所述图形文件信号转换成空间光调制器工作数据并输出至所述空间光调制器。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 中山新诺科技股份有限公司 一种激光直接成像闭环实时检测系统
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