【实用新型】测试结构_江苏时代全芯存储科技股份有限公司;江苏时代芯存半导体有限公司_202020163900.9 

申请/专利权人:江苏时代全芯存储科技股份有限公司;江苏时代芯存半导体有限公司

申请日:2020-02-12

发明/设计人:廖昱程;刘峻志;张雄世;张明丰

公开(公告)日:2020-10-23

代理机构:上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)

公开(公告)号:CN211743145U

代理人:孙佳胤;董琳

主分类号:H01L23/544(20060101)

地址:223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路601号

分类号:H01L23/544(20060101);H01L45/00(20060101);G01R27/08(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2020.10.23#授权

摘要:本实用新型涉及一种测试结构,所述测试结构包括:第一子测试结构,包括第一串联结构,所述第一串联结构包括第一加热器,以及位于所述第一加热器顶部表面的第一相变层,所述第一加热器的电阻值为待测阻值;第二子测试结构,包括第二串联结构,所述第二串联结构包括第二加热器,以及位于所述第二加热器顶部表面的第二相变层,所述第二相变层与所述第一相变层的阻值相同,所述第二加热器的阻值小于所述第一加热器的阻值,所述第一加热器的阻值与所述第二加热器的阻值之比大于设定值;以及所述第一子测试结构和第二子测试结构内的电连接线路的电阻相同。上述测试结构能够准确测量相变存储单元内加热器的阻值。

主权项:1.一种测试结构,其特征在于,包括:第一子测试结构,包括第一串联结构,所述第一串联结构包括第一加热器,以及位于所述第一加热器顶部表面的第一相变层,所述第一加热器的电阻值为待测阻值;第二子测试结构,包括第二串联结构,所述第二串联结构包括第二加热器,以及位于所述第二加热器顶部表面的第二相变层,所述第二相变层与所述第一相变层的阻值相同,所述第二加热器的阻值小于所述第一加热器的阻值,所述第一加热器的阻值与所述第二加热器的阻值之比大于设定值;以及所述第一子测试结构和第二子测试结构内的电连接线路的电阻相同。

全文数据:

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