申请/专利权人：上海华力微电子有限公司

申请日：2020-08-18

公开（公告）日：2020-11-17

公开（公告）号：CN111948900A

主分类号：G03F1/36(20120101)

分类号：G03F1/36(20120101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.01.23#授权;2020.12.04#实质审查的生效;2020.11.17#公开

摘要：本发明提供了一种版图的特征图形的识别方法，用于识别OPC处理的特征图形，包括：查看所述版图上的OPC预警位置；划分以OPC预警位置为中心的一定范围为限定范围；提取落入限定范围的特征图形。可以提高挑选特征图形的效率，并且能更好地挑选出想要的特征图形。

主权项：1.一种版图的特征图形的识别方法，用于识别OPC处理的特征图形，其特征在于，包括：查看所述版图上的OPC预警位置；将以OPC预警位置为中心的一定范围划分为限定范围；提取落入限定范围的特征图形。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海华力微电子有限公司 版图的特征图形的识别方法

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