申请/专利权人：长江存储科技有限责任公司

申请日：2019-01-17

公开（公告）日：2020-11-17

公开（公告）号：CN109891317B

主分类号：G03F1/40(20120101)

分类号：G03F1/40(20120101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.11.17#授权;2019.07.09#实质审查的生效;2019.06.14#公开

摘要：本发明提供了一种光掩模，所述光掩模包括衬底、所述衬底上的电路图案、所述衬底上的静电放电ESD环以及所述衬底上的ESD线。所述ESD结构围绕所述电路图案。所述ESD线在所述衬底的边缘和所述ESD结构之间延伸，其中，所述ESD线包括延伸超出所述ESD结构的边缘的末端的边缘部分，并且所述ESD线的边缘部分包括至少一个梳状结构。

主权项：1.一种光掩模，包括：衬底；所述衬底上的电路图案；所述衬底上的静电放电ESD结构，并且所述ESD结构围绕所述电路图案；以及所述衬底上的ESD线，并且所述ESD线在所述衬底的边缘和所述ESD结构之间延伸，其中，所述ESD线包括延伸超出所述ESD结构的边缘的末端的边缘部分，并且其中，所述边缘部分包括多个区段以及多个梳状结构，每一梳状结构包括连接部分和至少两个针状物，并且每一区段和每一连接部分交替连接以形成蛇形区段。

全文数据：具有静电放电保护的光掩模技术领域本发明涉及光掩模，更具体而言，涉及具有静电放电ESD保护的光掩模。背景技术半导体制造当中的光刻工艺包括对光致抗蚀剂图案化的过程。在这一过程当中，光致抗蚀剂设置在晶圆上，并且通过光罩或者光掩模对所述光致抗蚀剂进行曝光。光掩模包括具有根据集成电路的设计布局形成的主要特征的设计图案，因而在曝光之后，能够对光致抗蚀剂进行显影，从而在其内形成与光掩模的设计图案相同的投影图案。出于这一原因，光掩模是用于实现良好的图案转移的关键因素之一。参考图1，其示出了现有技术光掩模的顶视图。如图1所示，现有技术光掩模10包括电路图案12以及围绕电路图案12的静电放电ESD环14，并且所述电路图案12和ESD环14由导电材料制成。由于ESD环14的原因，可以释放或者排放一些电荷，并且能够保护电路图案12不受某种程度的ESD损伤。然而，ESD环的保护是不够的。例如，为了避免在执行光刻工艺的同时有颗粒或者灰尘停留在光掩模上，通常由掩模持有者或者操作者拾取光掩模，以便进行颗粒检查。由于光掩模可能被拾取若干次，因而通过掩模持有者的频繁接触而在光掩模上累积电荷，并且仍将易于发生ESD效应例如，ESD电弧放电，尤其是在ESD环处或者电路图案的接近掩模持有者所接触的光掩模边缘的部分处。相应地，发生ESD的电路图案部分将被改变和扭曲，例如，电路图案的边缘变亮bright，电路图案的拐角被剥离，或者电路图案的部分被ESD电弧损坏。因此，使光掩模的图案保持准确是本领域的重要目标。发明内容在本发明中描述了具有静电放电保护的光掩模的实施例。在一些实例中，公开了一种光掩模。所述光掩模包括衬底、所述衬底上的电路图案、所述衬底上的静电放电ESD结构以及所述衬底上的ESD线。所述ESD结构围绕所述电路图案。所述ESD线在所述衬底的边缘和所述ESD结构之间延伸，其中，所述ESD线包括延伸超出所述ESD结构的边缘的末端的边缘部分，并且所述ESD线的边缘部分包括至少一个梳状结构。在一些实施例中，所述梳状结构包括连接部分以及从所述连接部分突出的至少两个针状物pin。在一些实施例中，所述边缘部分包括多个区段以及多个梳状结构，每一梳状结构包括连接部分和至少两个针状物，并且每一区段和每一连接部分交替连接，以形成蛇形形状。所述蛇形形状具有多个凹陷，并且所述梳状结构之一的针状物指向所述凹陷之一。在一些实施例中，每一凹陷的深度大于每一针状物的长度。在一些实施例中，所述梳状结构中的相邻两个梳状结构中的针状物朝着相反的方向突出。在一些实施例中，所述梳状结构中的相邻两个梳状结构中的针状物朝着所述衬底的所述边缘突出。在一些实施例中，所述ESD线进一步包括主要部分和另一边缘部分，所述主要部分连接在所述边缘部分之间，并且所述另一边缘部分被设置为超出所述ESD结构的所述边缘的另一末端。在一些实施例中，所述主要部分包括多个区段和多个梳状结构，并且每一区段和每一梳状结构交替连接，以形成蛇形形状。所述蛇形形状具有沿所述ESD线的延伸方向布置的多个凹陷，并且所述主要部分的每一梳状结构包括连接部分以及从所述连接部分朝向所述凹陷之一突出的至少两个针状物。在一些实施例中，所述光掩模进一步包括设置在所述ESD结构的与所述边缘相对的一侧上的另一ESD线。在一些实施例中，所述ESD线围绕所述ESD结构。在一些实施例中，所述ESD线的沿所述ESD结构的所述边缘的延伸方向的长度大于所述ESD结构的沿所述ESD结构的所述边缘的延伸方向的长度。在一些实施例中，所述ESD线的宽度小于所述ESD结构的宽度。在一些实施例中，所述ESD线的宽度大于所述ESD结构的宽度。在一些实施例中，所述ESD线的延伸方向与所述ESD结构的所述边缘的延伸方向平行。对于本领域技术人员而言，在阅读了下文对通过各幅附图例示的优选实施例的详细描述之后，本发明的这些和其他目标无疑将变得显而易见。附图说明被并入本文并形成说明书的部分的附图例示了本发明的实施例并与说明书一起进一步用以解释本发明的原理，并使相关领域的技术人员能够做出和使用本发明。图1示出了现有技术光掩模的顶视图。图2是示出了根据本发明的第一实施例的具有静电放电ESD保护的示例性光掩模的顶视图的示意图。图3是示出了根据本发明的一些实施例的具有ESD保护的另一示例性光掩模的顶视图的示意图。图4示出了根据本发明的一些实施例的图2所示的被虚线围绕的区域R1的放大图。图5示出了根据本发明的一些实施例的图4所示的被虚线围绕的梳状结构的区域R2的放大图。图6示出了图2所示的区域R3的放大图。图7示出了图6所示的区域R4的放大图。图8示出了图7所示的区域R5的放大图。图9示出了图2所示的区域R6的放大图。图10示出了根据本发明的第一实施例的第一变型实施例的边缘部分的顶视图。图11示出了根据本发明的第一实施例的第二变型实施例的边缘部分的顶视图。图12示出了根据本发明的第一实施例的第三变型实施例的主要部分的顶视图。图13示出了根据本发明的第一实施例的第四变型实施例的主要部分的顶视图。图14示出了根据本发明的第一实施例的第五变型实施例的主要部分的顶视图。图15是示出了根据本发明的第二实施例的具有ESD保护的示例性光掩模的顶视图的示意图。将参考附图来描述本发明的实施例。具体实施方式尽管讨论了具体配置和布置，但是应当理解所述讨论仅出于说明的目的。相关领域的技术人员将认识到，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，可以使用其他的配置和布置。对于相关领域的技术人员显而易见的是也可以将本发明应用到各种各样的其他应用当中。应当指出，在说明书中提到“一个实施例”、“实施例”、“范例实施例”、“一些实施例”等表示所述的实施例可以包括特定的特征、结构或特性，但未必每个实施例都包括该特定特征、结构或特性。此外，这样的短语未必是指同一实施例。此外，在结合实施例描述特定特征、结构或特性时，结合明确或未明确描述的其他实施例实现这样的特征、结构或特性处于相关领域的技术人员的知识范围之内。通常，可以至少部分从上下文中的使用来理解术语。例如，至少部分取决于上下文，本文中使用的术语“一个或多个”可以用于描述单数意义的任何特征、结构或特性，或者可以用于描述复数意义的特征、结构或特性的组合。类似地，至少部分取决于上下文，诸如“一”、“一个”或“所述”的术语可以被理解为表达单数使用或表达复数使用。应当容易理解，本发明中的“在…上”、“在…之上”和“在…上方”的含义应当以最宽方式被解读，以使得“在…上”不仅表示“直接在”某物“上”而且还包括在某物“上”且其间有居间特征或层的含义，并且“在…之上”或“在…上方”不仅表示“在”某物“之上”或“上方”的含义，而且还可以包括其“在”某物“之上”或“上方”且其间没有居间特征或层即，直接在某物上的含义。空间相对术语旨在涵盖除了在附图所描绘的取向之外的在设备使用或操作中的不同取向。设备可以具有其他取向旋转90度或处于其它取向，并且本文中使用的空间相对描述词可以类似地被相应解释。如这里所使用的，术语“衬底”是指在其上添加后续材料层的材料。能够对衬底本身进行图案化。添加到衬底的顶部上的材料可以被图案化，或者可以保持不被图案化。此外，衬底可以由诸如玻璃、塑料、石英或蓝宝石的透明衬底材料制成。如这里所使用的，术语“基本上”是指在产品或工艺的设计阶段内设置的部件或工艺操作的特征或参数的预期或目标值，连同高于和或低于所述预期值的一定范围的值。所述值的范围可能归因于制造工艺或容限而略微变化。如这里所使用的，术语“大约”是指给定量的值能够基于与对象光掩模结构相关联的特定技术节点发生变化。基于特定技术节点，术语“大约”可以指示给定量的值在例如该值的10-30％例如，该值的±10％、±20％或者30％以内发生变化。如在整个本专利申请中所用的那样，以允许的意义例如，意味着具有可能性而非强制的意义例如，意味着必须使用“可以”一词。词语“包括”、“包含”、“含有”指示开放性关系，因此意味着包括但不限于。类似地，词语“具有”、“有”、“带有”也指示开放性关系，因而意味着具有但不限于。这里采用的术语“第一”、“第二”、“第三”等是指区分不同要素的标签，而未必具有根据其数值指示的排序含义。在本发明中，可以对下述说明中描述的不同实施例中的不同技术特征进行组合、替代以及相互混合，以构成另一实施例。参考图2，其为示出了根据本发明的实施例的具有静电放电ESD保护的示例性光掩模的顶视图的示意图。如图2所示，光掩模100包括衬底102和电路图案104。衬底102可以用于支撑电路图案104、ESD结构106以及ESD线108a，并且可以是透明衬底，从而使得光可以穿透衬底102。在一些实施例中，衬底102可以包括绝缘支撑材料，例如，玻璃、石英、蓝宝石或者其他适当材料，但不限于此。在一些实施例中，可以在衬底102上形成额外的透明绝缘材料。而且，在一些实施例中，衬底102的形状可以取决于所需的光掩模100的形状。例如，衬底102可以是矩形的或者其他适当形状。在这一实施例中，例如，衬底102是矩形的，但不限于此。衬底102可以具有彼此相对的第一边缘102a和第二边缘102b，并且第一边缘102a和第二边缘102b可以是例如掩模持有者在颗粒检查期间所接触的边缘。电路图案104设置在衬底102上，并且用于被转移到晶圆上的光致抗蚀剂上。电路图案104可以是根据将通过使用光掩模100形成的元件或者半导体器件设计的，因而电路图案104可以包括用于制造所述半导体器件或元件的工艺的一个步骤的适当布局图案。在图2中，示出了电路图案104的区域，并且电路图案104的形状不限于此。为了将电路图案104转移到光致抗蚀剂上，电路图案104包括用于遮蔽照射光掩模100的光的遮光材料。在本公开当中，电路图案104的遮光材料包括导电材料。例如，所述导电材料可以包括铬、钼、钨、铝、镍或铬化合物例如，铬合金，但不限于此。在一些实施例中，光掩模100可以是二元光掩模。由于电路图案104是导电的，为了不在电路图案104上累积电荷，光掩模100进一步包括用于对电路图案104进行ESD保护的ESD结构106和ESD线108a。在一个实施例中，ESD结构106设置在衬底102上，并且至少部分地围绕电路图案104，例如，ESD结构106完全围绕电路图案104。ESD结构106包括导电材料，因而ESD结构106可以用于释放或者排放来自衬底102的所有边缘的电荷。相应地，ESD结构106可以提供某种程度的ESD保护，并且降低对ESD结构106内部的电路图案104的ESD损伤的发生。在一些实施例中，ESD结构106的导电材料可以包括铬、钼、钨、铝、镍或铬化合物例如，铬合金，但不限于此。在一些实施例中，ESD结构106和电路图案104可以由同一层形成。在一些实施例中，ESD结构106可以是矩形环或者其他适当形状的环。在这一实施例中，例如，衬底106是矩形的，但不限于此。在这样的情况下，ESD结构106可以具有彼此相对的第一边缘106a和第二边缘106b，并且第一边缘106a和第二边缘106b可以分别对应于衬底102的第一边缘102a和第二边缘102b。例如，ESD结构106的第一边缘106a的延伸方向可以是直的并且平行于第一方向D1。在一些实施例中，ESD结构106的第一边缘106a的延伸方向可以是基于ESD结构106的形状或设置确定的。例如，ESD结构106的第一边缘106a可以是弯曲的，但不限于此。参考图3，其为示出了根据本发明的一些实施例的具有ESD保护的另一示例性光掩模的顶视图的示意图。在一些实施例中，如图3所示，ESD结构106’的形状可以不同于矩形，例如，其为类似于圆形的形状、其他几何形状或者任何其他形状。在一些实施例中，ESD结构可以是闭合结构。但是在一些其他实施例中，ESD结构106’可以不是闭合环结构，例如，ESD结构106’可以具有至少一个开口，使得ESD结构106’部分地围绕电路图案104’。在一些实施例中，电路图案104’的形状可以不同于矩形，例如，其为圆形、其他几何形状或者任何其他形状。在一些实施例中，电路图案102’的形状可以不同于矩形，例如，其为圆形、其他几何形状或者任何其他形状。参考图4，其示出了根据本发明的一些实施例的图2所示的被虚线围绕的区域R1的放大图。在一些实施例中，ESD结构106可以包括处于第一侧106a的蛇形区段106S，并且蛇形区段106S可以沿第一方向D1延伸。在一些实施例中，蛇形区段106S可以具有沿蛇形区段106S的延伸方向布置的多个凹陷1063，并且凹陷1063中的相邻两个可以面向相反方向，例如，分别面向第一边缘102a和第二边缘102b。在一些实施例中，每一梳状结构1061的宽度W1可以比凹陷1063之一的深度DP小得多，或者比ESD结构106的沿第二方向D2的宽度WR小得多。在一些实施例中，第二方向D2可以与第一方向D1垂直。在一些实施例中，蛇形区段106S可以包括多个梳状结构1061，以增强ESD保护。在这种情况下，蛇形区段106S可以进一步包括用于连接各梳状结构1061的多个区段部分1062，并且每一区段部分1062和每一梳状结构1061交替串联连接。在一些实施例中，蛇形区段106S可以不包括梳状结构。具体而言，参考图5，其示出了根据本发明的一些实施例的图4所示的被虚线围绕的梳状结构的区域R2的放大图。为了清楚起见，图5示出了梳状结构1061之一，但是本发明不限于此。在一些实施例中，如图5所示，梳状结构1061可以包括至少两个针状物1061a和连接部分1061b，其中针状物1061a连接至连接部分1061b的一侧并从所述侧突出，并且针状物1061a相互分隔开。在一些实施例中，梳状结构1061的针状物1061a可以指向凹陷1063之一。换言之，每一针状物1061a的一端连接至连接部分1061b，同时针状物1061a的另一端不连接至ESD结构106的任何其他部分，并且指向对应的凹陷1063。梳状结构1061可以包括多个凹陷1061c，并且每一凹陷1061c位于针状物1061a中的相邻两个之间，或者位于针状物1061a与区段部分1062之一之间。在一些实施例中，每一梳状结构1061的沿第二方向D2的宽度W1其为一个针状物1061a的长度L1和一个连接部分1061b的宽度W2之和可以比每一针状物1061a的宽度W3大得多，并且或者比每一凹陷1061c的宽度W4大得多，例如，宽度W1可以是50μm，宽度W3可以是1.5μm，宽度W4可以是1.5μm。在一些实施例中，连接部分1061b的宽度W2可以是非均匀的，并且连接部分1061b离区段部分1062之一越近，宽度W2越宽。在一些实施例中，连接部分1061b的宽度W2可以是均匀的。在一些实施例中，梳状结构1061的针状物1061a的数量可以大于等于2。如图2所示，在一些实施例中，ESD结构106可以进一步包括在第二边缘106b处具有梳状结构的另一蛇形区段，并且ESD结构106的位于第三边缘106c和第四边缘106d处的部分可以是均匀的线段。在一些实施例中，ESD结构106还可以包括在第三边缘106c和第四边缘106d处具有梳状结构的蛇形区段。由于掩模持有者或者操作者可能频繁地接触衬底102的第一边缘102a和或第二边缘102b，因而可能从第一边缘102a和或第二边缘102b引入更多的静电。相应地，ESD结构106的对应于第一边缘102a和或第二边缘102b的ESD保护是不够的。在本公开中，通过进一步在ESD结构106和衬底102的第一边缘102a之间设置ESD线108a，可以从第一边缘102a和或第二边缘102b释放更多的电荷。再次参考图2。在一个实施例中，ESD线108a设置在衬底102上并且在衬底102的第一边缘102a和ESD结构106的第一边缘106a之间延伸。电路图案104、ESD结构106和ESD线108a形成于衬底102的同一表面上，并且设置在ESD线108a和电路图案104之间的ESD结构106与ESD线108a和电路图案104分开，使得ESD线108a和ESD结构106上的电荷将不会被传导至电路图案104。ESD线108a包括导电材料。在一些实施例中，所述导电材料可以包括铬、钼、钨、铝、镍或铬化合物例如，铬合金，但不限于此。在一些实施例中，ESD线108、ESD结构106和电路图案104可以由同一层形成。由于ESD线108a与第一边缘102a相邻设置，因而ESD线108a也可以用于释放或排放来自第一边缘102a的电荷，例如，所述电荷来自于掩模持有者或操作者与第一边缘102a的接触。在一些实施例中，ESD线108a的宽度WL如图8所示可以小于ESD结构106的宽度WR。例如，宽度WL可以处于30μm到180μm的范围内。但是，在一些实施例中，ESD线108的宽度WL可以大于ESD结构106的宽度WR。在一些实施例中，ESD线108a’的形状可以是曲线而非直线，如图3所示。在一些实施例中，ESD线108a’的形状可以是其他几何形状或者任何其他形状。在一个实施例中，ESD线108a包括沿ESD结构106的第一边缘106a的延伸方向超出ESD结构106的第一边缘106a的末端的边缘部分EP1a。也就是说，ESD线108a的边缘部分EP1a超出ESD结构106的第一边缘106a。在一些实施例中，ESD线108a的延伸方向可以平行于第一方向D1。在一些实施例中，ESD线108a的延伸方向可以不平行于ESD结构106的第一边缘106a的延伸方向。在这样的情况下，边缘部分EP1a可以被定义为在ESD线108a沿垂直于第一边缘106a的方向被投影到第一边缘106a上时超过ESD结构106的第一边缘106a的部分，但是本发明不限于此。在一个实施例中，边缘部分EP1a包括至少一个用于释放电荷的梳状结构图7和图8所示，因而能够在超出ESD结构106的第一边缘106a的末端的边缘部分EP1a处释放电荷，即，可以释放电荷使之离开电路图案104，由此降低对电路图案104的ESD影响。具体而言，图6示出了图2所示的区域R3的放大图，图7示出了图6所示的区域R4的放大图，并且图8示出了图7所示的区域R5的放大图。如图6、图7和图8所示，这样实施例的边缘部分EP1a可以包括多个用于释放在ESD线108a上累积的电荷的梳状结构114。在一些实施例中，梳状结构114的数量可以为一或者大于一。在一个实施例中，与ESD结构106的梳状结构1061类似，每一梳状结构114可以包括连接部分114a以及连接至连接部分114a的一个边缘并从该边缘突出的至少两个针状物114b，并且连接部分114a连接于每一针状物114b的一端和ESD线108a的其他部分之间。各针状物114b相互分开。梳状结构114可以包括多个凹陷114c，每一凹陷114c位于针状物114b中的相邻两个针状物之间。由于每一针状物114b的宽度W5小，因而各针状物114b的未连接至连接部分114a的末端与ESD线108a的其他部分相比可以被视为点。相应地，与ESD线108a的其他部分上的电荷相比，针状物114b的末端处的电荷可以导致更高的电场，并且可以容易地从针状物114b的未连接至连接部分114a的末端释放并且排放ESD线108a上的电荷。例如，用于释放电荷的方法可以是电弧放电或者电晕放电。借助于梳状结构114的设计，由掩模持有者或者操作者与第一边缘102a的频繁接触产生的电荷可以首先在ESD线108a上累积，之后通过位于超出ESD结构106的第一边缘106a的末端的边缘部分EP1a处的梳状结构114释放所述电荷。在一些实施例中，每一针状物114b的宽度W5比每一针状物114b的长度L2小得多。在一些实施例中，每一针状物114b的宽度W5可以等于每一凹陷114c的沿第一方向D1的宽度。在一些实施例中，连接部分114a的沿第二方向D2的宽度W6可以比每一针状物114b的长度L2小得多，并且可以比ESD线108a的沿第二方向D2的宽度WL小得多。在一些实施例中，ESD线108a的宽度WL可以大于每一针状物114b的长度L2。第二方向D2可以垂直于ESD线108a的延伸方向例如，第一方向D1。在一些实施例中，梳状结构114的针状物114b的数量可以等于或者大于2。在一些实施例中，边缘部分EP1a可以进一步包括多个区段116，并且每一区段116和每一梳状结构114交替连接，从而形成蛇形区段。在一些实施例中，蛇形区段可以具有沿ESD线108a的延伸方向例如，第一方向D1布置的多个凹陷118，所述梳状结构114之一的针状物114b可以指向各凹陷118中的对应一个凹陷，并且每一梳状结构114的凹陷114c可以连接至对应凹陷118。应当指出，由于针状物114b的未连接至对应连接部分114a的末端未从凹陷118突出，因而来自针状物114b的这些末端的电荷的尖端放电可以发生在凹陷118内部，并且可以防止对与ESD线108a相邻的ESD结构106造成损伤。例如，由于电荷是在凹陷118内释放的，因而尽管针状物114b中的一些指向第二边缘102b，还是能够降低对ESD结构106的放电影响。在一些实施例中，每一针状物114b的宽度W5小于每一区段116的沿第一方向D1的宽度W7。在一些实施例中，区段116的沿第二方向D2的宽度可以等于ESD线108a的宽度WL。由此，各区段116之一上的电荷可以被引入到梳状结构114中的相邻梳状结构当中，以便得到释放。在一些实施例中，梳状结构114中的相邻两个梳状结构中的针状物114b可以指向相反的方向或者朝着相反的方向突出，例如，第二方向D2和与第二方向D2相反的方向。在一些实施例中，梳状结构114之一的朝向衬底102的第一边缘102a突出的针状物114b的数量可以不同于梳状结构114中的相邻一个梳状结构的朝向衬底102的第二边缘102b突出的针状物114b的数量。例如，朝向第一边缘102a突出的针状物114b的数量可以大于朝向第二边缘102b突出的针状物114b的数量，从而可以朝远离ESD结构106和电路图案104的方向释放更多的电荷，由此降低对ESD结构106和电路图案104的ESD影响。再次参考图2。在一些实施例中，ESD线108a可以进一步包括主要部分MPa和另一边缘部分EP2，所述主要部分MPa连接于边缘部分EP1a、EP2之间，并且所述另一边缘部分EP2被设置为沿ESD结构106的第一边缘106a的延伸方向超出所述ESD结构106的第一边缘106a的另一末端。换言之，边缘部分EP1a和EP2之间的主要部分MPa可以沿第一方向D1具有与ESD结构106的第一边缘106a相同的长度，并且因此ESD线108a的沿第一方向D1的长度L3可以大于ESD结构106的第一边缘106a沿第一方向D1的长度L4。在一些实施例中，ESD线108a不限于包括边缘部分EP1a和EP2两者，并且ESD线108a可以包括主要部分MPa以及边缘部分EP1a、EP2之一。在一些实施例中，另一边缘部分EP2可以与边缘部分EP1a相对于主要部分MPa对称，或者具有与边缘部分EP1a相同的结构，从而包括梳状结构114和区段116如图7和图8所示。在一些实施例中，另一边缘部分EP2可以包括至少一个梳状结构114。图9示出了在图2中被虚线围绕的主要部分MPa的区域R6的放大图。连同图2参考图9。在一个实施例中，ESD线108a的连接在边缘部分EP1a、EP2之间的主要部分MPa可以是没有梳状结构的线段。在一些实施例中，所述线段可以是具有均匀宽度的直线，并且主要部分MPa的宽度可以等于边缘部分EP1a、EP2的宽度，例如，宽度WL。在一些实施例中，主要部分MPa的宽度可以不同于边缘部分EP1a、EP2的宽度。再次参考图2，在一些实施例中，光掩模100可以进一步包括衬底102上的另一条ESD线108b，其设置在ESD结构106的对应于第二边缘106b的一侧。换言之，ESD线108b在第二边缘106b和衬底102的第二边缘102b之间延伸。在一些实施例中，ESD线108b的延伸方向可以平行于第一方向D1。ESD线108b还包括导电材料，使得ESD线108b可以用于释放或者排放由于例如掩模持有者或操作者与第二边缘102b接触而累积的电荷。在一些实施例中，ESD线108b的导电材料可以包括铬、钼、钨、铝、镍或铬化合物例如，铬合金，但不限于此。在一些实施例中，ESD线108b的导电材料可以与ESD线108a的导电材料相同。在一些实施例中，ESD线108b可以具有与ESD线108a相同的结构，或者可以与ESD线108a相对于电路图案104对称，但不限于此。在一些实施例中，ESD线108b也可以包括主要部分MPa以及边缘部分EP1a和EP2中的一个。在一些实施例中，ESD线108b’的形状可以是曲线而非直线，如图3所示。在一些实施例中，ESD线108b’的形状可以是其他几何形状或者任何其他形状。再次参考图2，在一些实施例中，光掩模100可以进一步包括用于限定电路图案104的区域的切割道112，使得切割道112围绕电路图案104。在一些实施例中，电路图案104可以包括多个图案区未示出，并且光掩模100可以包括用于分隔各图案区的切割区未示出。本领域技术人员可以理解，光掩模100可以进一步包括其他图案，例如，对准标记。应当指出，由于ESD线108a比ESD结构106更靠近第一边缘102a，并且或者ESD线108b比ESD结构106更靠近第二边缘102b，因而从第一边缘102a转移到光掩模100内的电荷首先被引入到ESD线108a中，来自第二边缘102b的电荷可以首先被引入到ESD线108b中。而且，由于ESD线108a和或ESD线108b至少在边缘部分EP1a、EP2处包括具有针状物114b的梳状结构114，因而在电荷进入ESD结构106和电路图案104之前可以在针状物114b处进一步传导和收集电荷，之后在针状物114b的末端处释放或者排放所述电荷。相应地，利用ESD线108a和或ESD线108b的设计，来自第一边缘102a和第二边缘102b的电荷能够在电荷仍然远离电路图案104和ESD结构106的时候就被释放掉，由此防止电荷进入ESD结构106和电路图案104。而且，由于ESD线108a和或ESD线108b的边缘部分EP1a和或边缘部分EP2包括梳状结构114，并且边缘部分EP1a和边缘部分EP2被设置为超出ESD结构106的第一边缘106a的末端，因而发生在梳状结构114的针状物114b处的ESD可以远离ESD结构106和电路图案104，由此降低ESD效应对ESD结构106和电路图案104造成损伤的可能性。因而，能够对电路图案104进行完全的保护，并且能够在所需半导体器件的制造过程中保持电路图案104的形状，由此确保电路图案104的每一部分在尺寸和形状上是准确的。本公开的光掩模不限于上述实施例。下文将描述本公开的实施例的其他变型实施例。为了方便地比较各实施例并且简化描述，可以在下文中采用相同的符号标示相同的部件。下文的描述将详细阐述不同实施例之间的相异之处，并且将不再重复描述等同的特征。参考图10，其示出了根据本发明的第一实施例的第一变型实施例的边缘部分的顶视图。在这个第一变型实施例中，ESD线108a的边缘部分EP1b的所有针状物114b可以朝向第一边缘102a突出，并且边缘部分EP1b没有朝向第二边缘102b突出的针状物114b，从而进一步缓解对ESD结构106和电路图案104的ESD影响。在一些实施例中，ESD线108a的边缘部分EP2可以具有与边缘部分EP1b相同的结构并且与边缘部分EP1b对称。类似地，在一些实施例中，ESD线108b的边缘部分EP1和或边缘部分EP2的所有针状物114b可以朝向第二边缘102b或者第一边缘102a突出，并且ESD线108b的边缘部分EP1和或边缘部分EP2没有朝向第一边缘102a突出的针状物114b。参考图11，其示出了根据本发明的第一实施例的第二变型实施例的边缘部分的顶视图。在这一第二变型实施例中，ESD线108a的边缘部分EP1c的所有针状物114b可以朝向第二边缘102b突出，并且边缘部分EP1c没有朝向第一边缘102a突出的针状物114b。在一些实施例中，ESD线108a的边缘部分EP2可以具有与边缘部分EP1c相同的结构或者与边缘部分EP1c对称。类似地，在一些实施例中，ESD线108b的边缘部分EP1和或边缘部分EP2的所有针状物114b均可以朝向第一边缘102a或者第二边缘102b突出。参考图12，其示出了根据本发明的第一实施例的第三变型实施例的主要部分的顶视图。在这一变型实施例中，ESD线108a的主要部分MPb可以是没有梳状结构的蛇形区段，其中，所述蛇形区段连接于边缘部分之间，并且包括多个凹陷124，凹陷124中的相邻两个凹陷面向相反方向。在一些实施例中，ESD线108b的主要部分也可以是没有梳状结构的蛇形区段。参考图13，其示出了根据本发明的第一实施例的第四变型实施例的主要部分的顶视图。在这一变型实施例中，主要部分MPc可以包括多个区段120以及多个梳状结构122，每一区段120和每一梳状结构122交替连接，以形成蛇形区段。所述蛇形区段可以具有多个凹陷124，并且所述主要部分MPc的每一梳状结构122可以包括连接部分122a以及从所述连接部分122a向凹陷124之一突出的至少两个针状物122b。在这一变型实施例中，梳状结构122中的相邻两个梳状结构当中的针状物122b可以朝衬底102的第一边缘102a突出，并且ESD线108a没有朝向衬底102的第二边缘102b突出的针状物。在一些实施例中，ESD线108b的主要部分也可以包括区段120和梳状结构122，并且ESD线108b的主要部分的各梳状结构122当中的相邻两个梳状结构当中的针状物122b可以向衬底102的第二边缘102b突出，并且ESD线108b没有朝向衬底102的第一边缘102a突出的针状物。参考图14，其示出了根据本发明的第一实施例的第五变型实施例的主要部分的顶视图。在这一变型实施例中，与图9所示的主要部分MPa相比，主要部分MPd可以具有与边缘部分EP1a相同的结构。例如，主要部分MPd可以包括多个区段120以及多个梳状结构122，每一区段120和每一梳状结构122交替连接，以形成蛇形区段。所述蛇形区段可以具有多个凹陷124，并且所述主要部分MPd的每一梳状结构122可以包括连接部分122a以及从所述连接部分122a向凹陷124之一突出的至少两个针状物122b。在一些实施例中，各梳状结构122中的相邻两个梳状结构当中的针状物122b可以朝着相反方向突出，例如，第二方向D2和与第二方向D2相反的方向。在一些实施例中，ESD线108a的主要部分MPd以及边缘部分EP1a、EP2可以分别包括梳状结构。例如，整个ESD线108a由区段和梳状结构构成，或者由梳状结构构成。在一些实施例中，ESD线108b的主要部分的各梳状结构122中的相邻两个梳状结构中的针状物122b也可以朝着相反方向突出。在一些实施例中，ESD线108b的主要部分MPd以及边缘部分EP1a、EP2可以分别包括梳状结构。例如，整个ESD线108b由区段和梳状结构构成，或者由梳状结构构成。参考图15，其为示出了根据本发明的第二实施例的具有ESD保护的示例性光掩模的顶视图的示意图。在这一实施例中提供的光掩模200与第一实施例的区别在于，光掩模200进一步包括处于ESD结构106的对应于第三边缘106c和第四边缘106d的相反两侧上的两条ESD线208a、208b，并且ESD线208a、208b以及ESD线108a、108b可以围绕ESD结构106。在一些实施例中，ESD线108a、108b、208a、208b可以连接起来，以形成围绕ESD结构106的环。在一些实施例中，在上述实施例和或上述变型实施例中提到的边缘部分和或主要部分可以被实施到ESD线208a、208b中的至少其中之一。使用所公开的光掩模将是有利的，因为利用ESD线的边缘部分的梳状结构，能够在来自第一边缘和第二边缘的电荷在电荷仍然远离电路图案和ESD结构的时候就被释放掉，由此防止电荷进入ESD结构和电路图案。因此，能够更有效率地保护电路图案不受至少源自于第一边缘和或第二边缘的ESD效应所造成的损害，并且能够保持电路图案的形状。上文对具体实施例的描述将充分揭示本发明的概括实质，本领域技术人员不需要过多的试验就能够通过本领域的知识和技能容易地针对各种应用修改和或调整这样的具体实施例，而不脱离本发明的一般原理。因此，基于文中介绍的发明和指导，意在使这样的调整和修改落在所公开的实施例的含义以及等价方案的范围内。应当理解，文中的措辞或术语是为了达到描述而非限定目的，因而本领域技术人员应当根据本发明和指导对本说明书的术语或措辞加以解释。上面借助于说明所指定的功能及其关系的实施方式的功能构建块描述了本发明的实施例。为了描述的方便起见，任意地定义了这些功能构建块的边界。可以定义替代边界，只要适当地执行指定功能及其关系即可。发明内容部分和摘要部分可能阐述了本发明人设想的本发明的一个或多个示范性实施例，而非全部的示范性实施例，因而并非意在通过任何方式限定本发明和所附权利要求。本领域的技术人员将容易地发现在遵循本发明的教导的同时可以对所述器件和方法做出很多修改和变更。相应地，应当将上文的公开内容视为仅由所附权利要求的划定范围来限定。

权利要求：1.一种光掩模，包括：衬底；所述衬底上的电路图案；所述衬底上的静电放电ESD结构，并且所述ESD结构围绕所述电路图案；以及所述衬底上的ESD线，并且所述ESD线在所述衬底的边缘和所述ESD结构之间延伸，其中，所述ESD线包括延伸超出所述ESD结构的边缘的末端的边缘部分，并且所述ESD线的所述边缘部分包括至少一个梳状结构。2.根据权利要求1所述的光掩模，其中，所述梳状结构包括连接部分以及从所述连接部分突出的至少两个针状物。3.根据权利要求1所述的光掩模，其中，所述边缘部分包括多个区段以及多个梳状结构，每一梳状结构包括连接部分和至少两个针状物，并且每一区段和每一连接部分交替连接以形成蛇形区段。4.根据权利要求3所述的光掩模，其中，所述蛇形区段具有多个凹陷，并且所述梳状结构中的一个梳状结构的针状物指向所述凹陷中的一个凹陷。5.根据权利要求3所述的光掩模，其中，每一梳状结构的宽度大于每一针状物的长度。6.根据权利要求3所述的光掩模，其中，所述梳状结构中的相邻两个梳状结构中的针状物朝着相反方向突出。7.根据权利要求3所述的光掩模，其中，所述梳状结构中的相邻两个梳状结构中的针状物朝着所述衬底的所述边缘突出。8.根据权利要求1所述的光掩模，其中，所述ESD线进一步包括主要部分和另一边缘部分，并且所述主要部分和所述另一边缘部分分别包括多个梳状结构。9.根据权利要求1所述的光掩模，其中，所述ESD线进一步包括主要部分和另一边缘部分，所述主要部分连接在所述边缘部分之间，并且所述另一边缘部分被设置为超出所述ESD结构的所述边缘的另一末端。10.根据权利要求9所述的光掩模，其中，所述主要部分包括多个区段以及多个梳状结构，并且所述主要部分的每一区段和每一梳状结构交替连接以形成蛇形区段。11.根据权利要求10所述的光掩模，其中，所述蛇形区段具有多个凹陷，并且所述主要部分的每一梳状结构包括连接部分以及从所述连接部分朝着所述凹陷之一突出的至少两个针状物。12.根据权利要求11所述的光掩模，其中，所述主要部分的所述梳状结构中的相邻两个梳状结构中的针状物朝着所述衬底的所述边缘突出。13.根据权利要求1所述的光掩模，进一步包括设置在所述ESD结构的与所述边缘相对的一侧上的另一ESD线。14.根据权利要求13所述的光掩模，进一步包括位于所述ESD结构的两侧上的另外两ESD线，并且所述ESD线围绕所述ESD结构。15.根据权利要求1所述的光掩模，其中，所述ESD线在所述ESD结构的所述边缘的延伸方向上的长度大于所述ESD结构在所述ESD结构的所述边缘的延伸方向上的长度。16.根据权利要求1所述的光掩模，其中，所述ESD线的延伸方向与所述ESD结构的所述边缘的延伸方向平行。17.根据权利要求1所述的光掩模，其中，所述ESD结构包括多个梳状结构。

百度查询： 长江存储科技有限责任公司 具有静电放电保护的光掩模

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