申请/专利权人:华海清科(北京)科技有限公司
申请日:2020-08-26
公开(公告)日:2020-11-17
公开(公告)号:CN111739829B
主分类号:H01L21/67(20060101)
分类号:H01L21/67(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2020.11.17#授权;2020.10.30#实质审查的生效;2020.10.02#公开
摘要:本发明公开了一种晶圆干燥方法和系统,其中晶圆干燥方法包括:使晶圆绕垂直于其表面的中心轴旋转;向晶圆表面供给混合液体以在晶圆表面形成所述混合液体的液膜,其中,所述混合液体由向清洗液中溶入一定浓度的表面活性物质形成,所述混合液体的表面张力低于水的表面张力;向所述晶圆表面喷射干燥气体以产生马兰戈尼效应使所述液膜剥离所述晶圆表面实现晶圆干燥。晶圆干燥系统包括旋转单元、供液单元和干燥单元。
主权项:1.一种晶圆干燥方法,其特征在于,包括:使晶圆绕垂直于其表面的中心轴旋转;向晶圆表面供给混合液体以在晶圆表面形成所述混合液体的液膜,其中,所述混合液体由向清洗液中溶入一定浓度的表面活性物质形成,所述混合液体的表面张力低于水的表面张力;在晶圆旋转过程中将混合溶液喷淋至晶圆表面不同位置处;其中,在第一喷淋位置处的混合溶液中表面活性物质的浓度小于等于在第二喷淋位置处的混合溶液中表面活性物质的浓度,所述第一喷淋位置在径向上距晶圆圆心的距离小于所述第二喷淋位置在径向上距晶圆圆心的距离;向所述晶圆表面喷射干燥气体以产生马兰戈尼效应使所述液膜剥离所述晶圆表面实现晶圆干燥。
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