申请/专利权人:江苏菲沃泰纳米科技有限公司
申请日:2019-12-04
公开(公告)日:2020-11-17
公开(公告)号:CN211947210U
主分类号:C23C14/56(20060101)
分类号:C23C14/56(20060101);C23C14/06(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2020.11.17#授权
摘要:本实用新型主要提供一种镀膜装置的门连接装置,用于连接一镀膜装置中的一腔体和一腔门,其中所述镀膜装置的连接系统被活动连接于所述腔体和所述腔体以使所述腔体和所述腔门能够相对运动,更具体地,所述镀膜装置的门连接装置包括两个或两个以上连接组件,任一所述连接组件包括至少一第一连接件和至少一第二连接件,其中所述第一连接件和所述第二连接件通过销连接实现彼此连接并能够相对转动。
主权项:1.一种镀膜装置的门连接装置,用于连接一镀膜装置中的一腔体和一腔门,其特征在于,其中所述镀膜装置的门连接装置被活动连接于所述腔体和所述腔门以使所述腔体和所述腔门能够相对运动,其中所述镀膜装置的门连接装置包括两个或两个以上连接组件,任一所述连接组件包括至少一第一连接件和至少一第二连接件,其中所述第一连接件和所述第二连接件通过销连接实现彼此连接并能够相对转动,其中所述连接组件中的所述第一连接件被固定连接于所述腔体,所述连接组件中的所述第二连接件被固定连接于所述腔门,从而使所述腔门能够相对于所述腔体以所述镀膜装置的门连接装置为轴心进行转动。
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权利要求:
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