申请/专利权人：艾伏有限公司;布鲁弗斯低温学有限公司

申请日：2020-04-30

公开（公告）日：2020-11-20

公开（公告）号：CN111965516A

主分类号：G01R31/28(20060101)

分类号：G01R31/28(20060101);G01R31/26(20140101)

优先权：["20190503 EP 19172489.7"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.03.25#实质审查的生效;2020.11.20#公开

摘要：本发明提供一种用于对晶圆102上的集成电路进行电气测试的测试设备100。测试设备100包括：真空腔室124；用于保持晶圆102的卡盘101；用于电气接触集成电路的探针卡103；用于使卡盘101相对于探针卡103移动的移动装置；布置在真空腔室124内侧并且包封卡盘101和探针卡103的第一辐射屏蔽件110；以及热连接到第一辐射屏蔽件110的冷却单元126。用于使卡盘101相对于探针卡103移动的装置包括具有第一端部和第二端部的支撑柱107、201、202、203，支撑柱107、201的第一端部附接到卡盘101，并且第一辐射屏蔽件110包括第一固定零件111和第一可移动零件112，第一固定零件111具有支撑柱107、201布置成穿过其的第一孔口113，第一可移动零件112附接到支撑柱107、201、202并且布置成覆盖第一孔口113。

主权项：1.一种测试设备，其包括：-真空腔室，-卡盘，所述卡盘用于保持包括集成电路的晶圆，-探针卡，所述探针卡用于电气接触所述晶圆上的所述集成电路，-移动装置，所述移动装置用于使所述卡盘相对于所述探针卡移动，-第一辐射屏蔽件，所述第一辐射屏蔽件布置在所述真空腔室内侧并且包封所述卡盘和所述探针卡，以及-冷却单元，所述冷却单元热连接到所述第一辐射屏蔽件，其特征在于：-用于使所述卡盘相对于所述探针卡移动的装置包括具有第一端部和第二端部的支撑柱，所述支撑柱的所述第一端部附接到所述卡盘，并且-所述第一辐射屏蔽件包括第一固定零件和第一可移动零件，所述第一固定零件具有所述支撑柱布置成穿过其的第一孔口，所述第一可移动零件附接到所述支撑柱并且布置成覆盖所述第一孔口。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 艾伏有限公司;布鲁弗斯低温学有限公司 测试设备

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