申请/专利权人:周星工程股份有限公司
申请日:2019-03-27
公开(公告)日:2020-11-20
公开(公告)号:CN111971786A
主分类号:H01L21/687(20060101)
分类号:H01L21/687(20060101);H01L21/683(20060101)
优先权:["20180403 KR 10-2018-0038594","20181218 KR 10-2018-0164262"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2021.04.02#实质审查的生效;2020.11.20#公开
摘要:本发明涉及一种基板处理设备,包括:用于支撑基板的支撑部;支撑多个支撑部的圆盘;设置在圆盘上方的盖;和第一突起部,第一突起部耦接至圆盘,并在从支撑部向内设置的中央区域和设置在支撑部之间的间隙区域中,沿着从圆盘到盖的向上方向突出。
主权项:1.一种用于处理基板的设备,所述设备包括:多个支撑部,所述多个支撑部的每一个支撑基板;支撑所述多个支撑部的圆盘;设置在所述圆盘上方的盖;和第一突起部,所述第一突起部耦接至所述圆盘,以在从所述支撑部向内设置的中央区域和设置在所述支撑部之间的间隙区域中,沿着从所述圆盘到所述盖的向上方向突出。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 周星工程股份有限公司 用于处理基板的设备
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