申请/专利权人：ASML荷兰有限公司

申请日：2019-03-13

公开（公告）日：2020-11-20

公开（公告）号：CN111971623A

主分类号：G03F7/20(20060101)

分类号：G03F7/20(20060101)

优先权：["20180416 EP 18167435.9"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.05.18#实质审查的生效;2020.11.20#公开

摘要：一种用于处理生产衬底的设备的清洁装置，所述清洁装置包括：实体，具有与所述生产衬底相似或相同的尺寸，使得所述清洁装置与所述设备兼容，所述主体具有第一主表面和朝向与第一主表面相反的方向的第二主表面；所述主体内的腔室，被配置用以容纳污染物；从所述第一主表面到所述腔室的入口，被配置成允许通过流体流将污染物抽吸入所述腔室；以及从所述腔室到所述第二主表面的出口，所述清洁装置被配置成允许流体离开所述腔室，但阻止污染物离开所述腔室。

主权项：1.一种用于处理生产衬底的设备的清洁装置，所述清洁装置包括：主体，所述主体具有与所述生产衬底相似的尺寸，使得所述清洁装置与所述设备兼容，所述主体具有第一主表面和第二主表面，所述第二主表面朝向与所述第一主表面相反的方向；所述主体内的腔室，所述腔室被配置成容纳污染物；入口，所述入口从所述第一主表面到所述腔室，并且被配置成允许通过流体流将污染物抽吸到所述腔室中；以及出口，所述出口从所述腔室到所述第二主表面，所述清洁装置被配置成允许所述流体离开所述腔室，但阻止污染物离开所述腔室。

全文数据：

权利要求：

百度查询： ASML荷兰有限公司 清洁装置和清洁方法

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