申请/专利权人：上海华力微电子有限公司

申请日：2020-06-22

公开（公告）日：2020-11-20

公开（公告）号：CN111965934A

主分类号：G03F1/36(20120101)

分类号：G03F1/36(20120101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.01.23#授权;2020.12.08#实质审查的生效;2020.11.20#公开

摘要：本发明提供了一种OPC修正通孔的选择方法，包括：选取尺寸满足设计规则的通孔，作为第一类通孔，通孔为正方形，通孔具有第一边、第二边、第三边和第四边；从第一类通孔中选出第一边与第一边相邻的正对孔的距离为第一预设值的通孔作为第二类通孔；从第二类通孔中选出第二边与第二边相邻的投影孔的距离为第二预设值且第三边与第三边相邻的投影孔的距离为第二预设值的通孔作为第三类通孔；将第三类通孔的第四边两端延长，以形成第五边，将第五边作为一个边以形成一个矩形框，矩形框与第三类通孔相邻并且接触；矩形框中与第五边相邻的边接触到的通孔即为所要选择的目标通孔。本发明可以选择到合适的目标通孔，提高后续流程中的OPC修正时的精度。

主权项：1.一种OPC修正通孔的选择方法，其特征在于，包括：选取尺寸满足设计规则的通孔，作为第一类通孔，所述通孔为正方形，所述通孔具有四条边，分别为：第一边、第二边、第三边和第四边，所述第一边和所述第四边相对，所述第二边和所述第三边相对；从所述第一类通孔中选出所述第一边与第一边相邻的正对孔的距离为第一预设值的通孔作为第二类通孔；从所述第二类通孔中选出所述第二边与第二边相邻的投影孔的距离为第二预设值且所述第三边与第三边相邻的投影孔的距离为第二预设值的通孔作为第三类通孔；将第三类通孔的第四边两端延长，以形成第五边，将所述第五边作为一个边以形成一个矩形框，所述矩形框与所述第三类通孔相邻并且接触；所述矩形框中与所述第五边相邻的边接触到的通孔即为所要选择的目标通孔。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海华力微电子有限公司 OPC修正通孔的选择方法

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