【发明公布】曝光装置、曝光方法、平面显示器的制造方法、及元件制造方法_株式会社尼康_202010832457.4 

申请/专利权人:株式会社尼康

申请日:2016-09-29

发明/设计人:青木保夫

公开(公告)日:2020-11-20

代理机构:北京三友知识产权代理有限公司

公开(公告)号:CN111965948A

代理人:单晓双;叶明川

主分类号:G03F7/20(20060101)

地址:日本东京都

分类号:G03F7/20(20060101);G03F9/00(20060101);H01L21/68(20060101);H01L21/683(20060101)

优先权:["20150930 JP 2015-192794"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2020.11.20#公开

摘要:曝光装置的基板载台装置20具备:非接触保持具32,将基板P的第1区域及在Y轴方向与前述第1区域排列设置的第2区域的至少一部分区域以非接触方式支承;基板载具40,在X轴方向不与非接触保持具32重叠的位置保持被非接触保持具32以非接触方式支承的基板P;Y线性致动器62及Y音圈马达64,使基板载具40在Y轴方向相对非接触保持具32相对移动;X音圈马达66,使基板载具40在X轴方向移动;以及致动器,使非接触保持具32在X轴方向移动。

主权项:1.一种曝光装置,通过光学系将照明光照射于物体,将前述物体相对前述照明光驱动以分别扫描曝光前述物体的多个区域,其特征在于,具备:第1支承部,将前述多个区域中的第1区域与在第1方向与前述第1区域排列设置的第2区域的至少一部分区域以非接触方式支承;保持部,在与前述第1方向交叉的第2方向不与前述第1支承部重叠的位置保持被前述第1支承部以非接触方式支承的前述物体;以及第1驱动部,在前述第2方向与前述第1支承部分离配置,以前述第2区域的另一部分的区域被前述第1支承部支承的方式,将保持前述物体的前述保持部相对前述第1支承部往前述第1方向驱动。

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