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【发明公布】一种3D曝光机高精度对位方法_广东安达智能装备股份有限公司_202010155642.4 

申请/专利权人:广东安达智能装备股份有限公司

申请日:2020-03-09

公开(公告)日:2020-11-24

公开(公告)号:CN111983896A

主分类号:G03F7/20(20060101)

分类号:G03F7/20(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.01.10#授权;2020.12.11#实质审查的生效;2020.11.24#公开

摘要:本发明公开了一种3D曝光机高精度对位方法,包括:步骤S1,将预设的纸质基材固定在曝光平台上;步骤S2,在曝光文件内绘制小圆点以及与小圆点相对应的位置标号;步骤S3,主控制器根据曝光文件控制激光曝光机构出射激光束,进而在纸质基材上照射形成小圆点;步骤S4,利用相机系统拍摄纸质基材上的小圆点图像;步骤S5,获取小圆点的边缘位置数据以及小圆点位置信息,同时计算小圆点的中心位置坐标;步骤S6,主控制器根据单应矩阵原理构建关系矩阵,通过控制UVW运动平台运动使得激光曝光机构的激光曝光位置与玻璃工件上的待曝光位置一致。本发明可提高激光对位精度、能提高对位标定效率、无需手动操作、更具自动化性能。

主权项:1.一种3D曝光机高精度对位方法,其特征在于,该方法基于一系统实现,所述系统包括有机台X轴滑轨1以及主控制器,所述机台X轴滑轨1上设有UVW运动平台2,所述UVW运动平台2的顶部设有曝光平台20,所述UVW运动平台2的上方设有相机系统3和激光曝光机构4,所述相机系统3和激光曝光机构4沿所述机台X轴滑轨1的长度方向依次设置,所述UVW运动平台2、所述相机系统3和所述激光曝光机构4分别与所述主控制器建立通信,所述方法包括如下步骤:步骤S1,将预设的纸质基材固定在所述曝光平台20上,所述纸质基材的面板尺寸与玻璃工件的面板尺寸相同;步骤S2,通过所述主控制器制作曝光文件,并在所述曝光文件内绘制小圆点以及与所述小圆点相对应的位置标号;步骤S3,所述主控制器根据所述曝光文件控制所述激光曝光机构4出射激光束,进而在所述纸质基材上照射形成小圆点;步骤S4,所述主控制器控制所述UVW运动平台2运动至所述相机系统3下方,利用所述相机系统3拍摄所述纸质基材上的小圆点图像;步骤S5,所述主控制器根据所述相机系统3拍摄的小圆点图像获取小圆点的边缘位置数据,并根据小圆点的全部边缘位置数据拟合得出小圆点位置信息,同时计算小圆点的中心位置坐标;步骤S6,所述主控制器根据单应矩阵原理构建关系矩阵: 式中,u1,v1,1T为所述步骤S5中拟合得到的小圆点中心位置坐标,u2,v2,1T为所述纸质基板上对应小圆点的物理位置坐标,并基于所述关系矩阵计算得出所述激光曝光机构4的激光曝光位置与所述纸质基板上对应物理位置坐标的位置关系H;步骤S7,当所述玻璃工件放置于所述曝光平台20时,利用所述关系矩阵计算出所述激光曝光机构4的激光曝光位置与所述玻璃工件上待曝光位置的关系,通过控制所述UVW运动平台2运动使得所述激光曝光机构4的激光曝光位置与所述玻璃工件上的待曝光位置一致。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 广东安达智能装备股份有限公司 一种3D曝光机高精度对位方法

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