申请/专利权人:东和株式会社
申请日:2020-04-08
公开(公告)日:2020-11-24
公开(公告)号:CN111981976A
主分类号:G01B11/00(20060101)
分类号:G01B11/00(20060101);H01L21/67(20060101);B28D5/02(20060101);B29C35/02(20060101)
优先权:["20190524 JP 2019-098125"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2022.08.02#授权;2020.12.11#实质审查的生效;2020.11.24#公开
摘要:本发明提供一种保持构件、检查机构、切断装置、保持对象物的制造方法及保持构件的制造方法。保持构件能够高精度地进行由多个吸附孔各自吸附保持的保持对象物的边缘检测。本发明的保持构件保持多个保持对象物用于光学检查,包括:保持部,设置有吸附保持所述保持对象物的多个吸附孔、及配置在多个所述吸附孔之间的槽;以及反射部,设置在所述槽,反射率比所述保持部高;且所述反射部具有平坦的表面。
主权项:1.一种保持构件,其保持多个保持对象物,用于光学检查,包括:保持部,设置有吸附保持所述保持对象物的多个吸附孔、及配置在多个所述吸附孔之间的槽;以及反射部,设置在所述槽,反射率比所述保持部高,其中所述反射部具有平坦的表面。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 东和株式会社 保持构件及制法、检查机构、切断装置、保持对象物制法
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