申请/专利权人：三星显示有限公司

申请日：2020-05-20

公开（公告）日：2020-11-24

公开（公告）号：CN111987013A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101)

优先权：["20190522 KR 10-2019-0059801"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.04.19#实质审查的生效;2020.11.24#公开

摘要：本申请提供了柔性电路膜粘接装置和利用其粘接柔性电路膜的方法。柔性电路膜粘接装置包括平台、挤压头部、垫板和加热控制单元，其中，平台配置成支承TFT衬底；挤压头部配置成挤压和加热柔性电路膜，该柔性电路膜利用插置于其间的各向异性导电膜附接在TFT衬底上；垫板配置成支承和加热位于柔性电路膜下方的TFT衬底；加热控制单元配置为控制挤压头部的下表面和垫板的上表面的温度，其中垫板的上表面的温度小于170摄氏度。

主权项：1.柔性电路膜粘接装置，包括：平台，配置成支承TFT衬底；挤压头部，配置成挤压并加热柔性电路膜，所述柔性电路膜利用插置于其间的各向异性导电膜附接在所述TFT衬底上；垫板，配置成支承并加热位于所述柔性电路膜下方的所述TFT衬底；以及加热控制单元，配置为控制所述挤压头部的下表面的温度和所述垫板的上表面的温度，其中所述垫板的所述上表面的所述温度小于170摄氏度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星显示有限公司 柔性电路膜粘接装置和利用其粘接柔性电路膜的方法

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