申请/专利权人：罗伯特·博世有限公司

申请日：2020-05-20

公开（公告）日：2020-11-24

公开（公告）号：CN111982279A

主分类号：G01J3/10(20060101)

分类号：G01J3/10(20060101);G01J3/28(20060101);G01N21/3563(20140101);G01N21/359(20140101);G01N21/17(20060101)

优先权：["20190521 DE 102019207387.5"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.06.14#实质审查的生效;2020.11.24#公开

摘要：本发明提供一种用于照明样品（4）的光学照明装置（1），包括：激光光源（2）；偏转镜（3），其能由激光光源（2）来照射且能绕着至少一个轴旋转；光学聚焦元件（FE），其布置在激光光源（2）与偏转镜（3）之间；载体（5），其具有波长转换层（6），其布置为使得激光能由偏转镜（3）偏转到波长转换层（6）上，其中载体（5）对于激光（L）和或对于由波长转换层（6）予以波长转换的光（LK）能透过，其中激光能由激光光源（2）通过光学聚焦元件（FE）经由偏转镜（3）聚焦到波长转换层（6）上；和投影光学系统（7），借助其，予以波长转换的光（LK）能在样品（4）上被集束在投影光学系统（7）的聚焦点。

主权项：1.一种用于照明样品（4）的光学照明装置（1），所述光学照明装置包括：-激光光源（2）；-偏转镜（3），所述偏转镜能由所述激光光源（2）来照射并且能绕着至少一个轴旋转；-光学聚焦元件（FE），所述光学聚焦元件布置在所述激光光源（2）与所述偏转镜（3）之间；-载体（5），所述载体具有波长转换层（6），所述波长转换层布置为使得激光能由所述偏转镜（3）偏转到所述波长转换层（6）上，其中所述载体（5）对于所述激光（L）来说和或对于由所述波长转换层（6）予以波长转换的光（LK）来说能透过，其中激光能由所述激光光源（2）通过所述光学聚焦元件（FE）经由所述偏转镜（3）聚焦到所述波长转换层（6）上；和-投影光学系统（7），借助于所述投影光学系统，所述予以波长转换的光（LK）能在所述样品（4）上被集束在所述投影光学系统（7）的聚焦点（FP）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 罗伯特·博世有限公司 照明样品的光学照明装置、照明和分析样品的光学分析装置及其运行方法

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