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【发明公布】用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物和使用其剥离光致抗蚀剂的方法_株式会社LG化学_201980009806.8 

申请/专利权人:株式会社LG化学

申请日:2019-10-07

公开(公告)日:2020-11-24

公开(公告)号:CN111989621A

主分类号:G03F7/42(20060101)

分类号:G03F7/42(20060101);C11D11/00(20060101);C11D3/28(20060101);C11D3/30(20060101);C11D3/32(20060101);C11D3/43(20060101)

优先权:["20190322 KR 10-2019-0033204"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2020.12.11#实质审查的生效;2020.11.24#公开

摘要:本公开内容涉及用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物以及涉及用于使用其剥离光致抗蚀剂的方法,所述用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物在能够表现出对光致抗蚀剂优异的剥离能力的同时能够抑制剥离过程期间下部金属膜的腐蚀并能够有效地除去氧化物。

主权项:1.一种用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物,包含:其中氮原子经1个或2个具有1至5个碳原子的线性或支化烷基取代的酰胺化合物;胺化合物;极性有机溶剂;甲巯咪唑;和基于三唑的化合物。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社LG化学 用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物和使用其剥离光致抗蚀剂的方法

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