申请/专利权人：昕芙旎雅有限公司

申请日：2019-03-13

公开（公告）日：2020-11-24

公开（公告）号：CN111989512A

主分类号：F16J15/10(20060101)

分类号：F16J15/10(20060101);H01L21/02(20060101);H01L21/677(20060101)

优先权：["20180315 JP 2018-048421"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.03.09#实质审查的生效;2020.11.24#公开

摘要：本发明即使在框架构件和盖构件没有高刚度的情况下也能够密封壳体。EFEM被构造为使壳体的内部空间40和外部空间7之间的压力差不超过规定值。壳体包括：被组装为在其中形成开口的框架构件；被附接至框架构件以覆盖开口的盖构件；以及被夹在框架构件和盖构件之间并延伸为围绕开口的密封构件61。框架构件和盖构件由金属薄板制成。密封构件61是其中在正交于密封构件61的延伸方向上的截面形成为中空形状的弹性构件。

主权项：1.一种密封设备，其中在壳体的内部空间与所述壳体的外部空间之间存在具有预定值以下的压力差，所述壳体包括：被组装为形成开口的框架构件；被附接至所述框架构件以覆盖所述开口的盖构件；以及被夹在所述框架构件与所述盖构件之间并被构造为延伸为围绕所述开口的密封构件，其中所述框架构件和所述盖构件由金属薄板形成，并且其中所述密封构件是具有与所述密封构件的延伸方向正交的中空截面的弹性构件。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 昕芙旎雅有限公司 密封设备

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