申请/专利权人：赛博光学公司

申请日：2019-04-10

公开（公告）日：2020-11-24

公开（公告）号：CN111989559A

主分类号：G01N15/02(20060101)

分类号：G01N15/02(20060101);G01N21/47(20060101);G01N21/33(20060101);G01N21/94(20060101);G01N21/95(20060101)

优先权：["20180411 US 62/655,903"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.12.11#实质审查的生效;2020.11.24#公开

摘要：一种内联粒子传感器100包括被配置为安装在装配件122内的传感器头120，传感器头120包括密封并与感测空间隔离且被配置为发射穿过感测空间的激光束的激光源，以及被布置为检测感测空间中的穿过激光束的粒子的检测器。内联粒子传感器108还包括电子器件302，电子器件302耦接到传感器头120，并且被配置为从检测器310接收指示粒子的信号，且基于该信号提供粒子输出。

主权项：1.一种内联粒子传感器，包括：传感器头，所述传感器头被配置为安装在装配件内，所述传感器头包括被配置为发射穿过感测空间的激光束的激光源，以及被布置为检测由感测区域中的穿过所述激光束的粒子散射的激光的检测器；以及电子器件，所述电子器件耦接到所述传感器头并被配置为从所述检测器接收指示由粒子散射的光的信号，并基于所述信号提供粒子输出。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 赛博光学公司 内联粒子传感器

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