申请/专利权人：国立研究开发法人科学技术振兴机构

申请日：2019-02-28

公开（公告）日：2020-11-24

公开（公告）号：CN111989775A

主分类号：H01L27/10(20060101)

分类号：H01L27/10(20060101);B82Y10/00(20060101);B82Y40/00(20060101);C23C18/42(20060101);H01L21/28(20060101);H01L21/288(20060101);H01L21/8239(20060101);H01L27/105(20060101);H01L29/06(20060101);H01L29/66(20060101);H01L45/00(20060101);H01L49/00(20060101)

优先权：["20180302 JP 2018-038092"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.12.29#实质审查的生效;2020.11.24#公开

摘要：一种纳米间隙电极，包括：第一电极，所述第一电极包括第一电极层和第一金属粒子，所述第一金属粒子配置在第一电极层的一个端部上；以及第二电极，所述第二电极包括第二电极层和第二金属粒子，所述第二金属粒子配置在第二电极层的一个端部上。第一金属粒子与第二金属粒子之间具有间隙且第一金属粒子与第二金属粒子相对地配置，第一金属粒子及第二金属粒子的一端至另一端的最大宽度为小于等于10nm，第一金属粒子与第二金属粒子之间的间隙的长度为小于等于10nm。

主权项：1.一种纳米间隙电极，其特征在于，包括：第一电极，所述第一电极包括第一电极层和第一金属粒子，所述第一金属粒子配置在所述第一电极层的一个端部上；以及第二电极，所述第二电极包括第二电极层和第二金属粒子，所述第二金属粒子配置在所述第二电极层的一个端部上，所述第一金属粒子与所述第二金属粒子之间具有间隙、且所述第一金属粒子与所述第二金属粒子相对地配置，所述第一金属粒子的一端至另一端的宽度以及所述第二金属粒子的一端至另一端的宽度小于等于20nm，所述第一金属粒子与所述第二金属粒子之间的间隙的长度小于等于10nm。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 国立研究开发法人科学技术振兴机构 纳米间隙电极、其制造方法以及具有纳米间隙电极的纳米器件

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