申请/专利权人：浜松光子学株式会社

申请日：2019-04-09

公开（公告）日：2020-11-24

公开（公告）号：CN111989784A

主分类号：H01L31/10(20060101)

分类号：H01L31/10(20060101);H01L31/0232(20140101)

优先权：["20180418 JP 2018-080000"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.12.11#实质审查的生效;2020.11.24#公开

摘要：本发明提供一种受光元件，其具备：具有包含受光部和遮光部的第一面的半导体部；以及设置于所述遮光部上的用于遮光的金属膜，所述金属膜具有面向与所述第一面相反一侧且接受光的入射的第二面，在所述第二面形成有多个凹部，所述凹部的内表面包含以沿所述第二面的方向的所述凹部的尺寸随着从所述第二面朝向所述凹部的底部而缩小的方式弯曲的曲面部。

主权项：1.一种受光元件，其特征在于，具备：具有包含受光部和遮光部的第一面的半导体部；以及设置于所述遮光部上的用于遮光的金属膜，所述金属膜具有面向与所述第一面相反一侧且接受光的入射的第二面，在所述第二面形成有多个凹部，所述凹部的内表面包含以沿所述第二面的方向的所述凹部的尺寸随着从所述第二面朝向所述凹部的底部而缩小的方式弯曲的曲面部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浜松光子学株式会社 受光元件以及受光元件的制造方法

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