申请/专利权人：杭州璟仪科技有限公司

申请日：2020-07-14

公开（公告）日：2020-11-24

公开（公告）号：CN111982312A

主分类号：G01J9/02(20060101)

分类号：G01J9/02(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.08.10#授权;2021.01.08#实质审查的生效;2020.11.24#公开

摘要：本发明涉及光学计量技术领域，所述测量装置具有一迈克尔逊干涉法太赫兹波长测量光学系统，且该系统具有一支撑平台，在该支撑平台上依次配置有太赫兹探测器、激光探测器、太赫兹源、激光器、90°离轴抛物面镜、光阑、扩束镜、分束镜和反射镜；其中，激光器发射参考激光，且与太赫兹源发射的太赫兹光共光路，因此待测太赫兹光和参考激光所经过的相对运动距离相同，即待测太赫兹波长求解所需的光程差可以利用参考干涉系统求取，从而消除了移动平台运动不稳定性带来的误差。通过防摔装置的设置，当工作模块意外倾倒时，倾倒方向一侧的防摔区启动，将缓冲装置快速张开形成防护，过程短，速度快，防护面积大，因而，防护效果有保证，避免将此类精密装置损坏，而带来高成本的维护。

主权项：1.太赫兹波长共光路干涉法测量装置，其特征在于：所述测量装置具有一迈克尔逊干涉法太赫兹波长测量光学系统，且该系统具有一支撑平台，在该支撑平台上依次配置有太赫兹探测器、激光探测器、太赫兹源、激光器、90°离轴抛物面镜、光阑、扩束镜、分束镜和反射镜；其中，激光器发射参考激光，且与太赫兹源发射的太赫兹光共光路，因此待测太赫兹光和参考激光所经过的相对运动距离相同，即待测太赫兹波长求解所需的光程差可以利用参考干涉系统求取，从而消除了移动平台运动不稳定性带来的误差；所述太赫兹源和激光器均具有工作模块10，在工作模块10的前端镜头外侧加装一镜头防护装置20；所述镜头防护装置20包括支撑架构21、设置在支撑架构21前端的防护组件22和连接在支撑架构21上的传动机构23，其中：所述支撑架构21包括外壳211、位于外壳211内腔的光线导筒212，所述光线导筒212一端抵触在工作模块10的前端镜头的外围，另一端另设有一转换镜头213，所述外壳211通过连接构件连接在工作模块10的侧部；防护组件22包括卡合板221、设在卡合板221内侧壁上的第一清洁组件222、与第一清洁组件222相对设置的第二清洁组件223；所述传动机构23包括拨叉231、拨动连接在拨叉231下方的推动套筒232、与推动套筒232通过传动螺纹连接的转筒233、固定连接在转筒233外部的推动机构234，该推动机构234包括转环2341、一端抵触在转环2341上的推杆2342、连接在推杆2342另一端的倾斜齿板2343，且该倾斜齿板2343与固定连接在转筒233外侧的旋转齿轮2344啮合传动；其中，所述转筒233通过轴承与所述光线导筒212旋转连接；所述卡合板221采用三块，且滑动连接在光线导筒212端部的凸缘上，在卡合板221内壁上设有齿槽，并通过齿槽与所述旋转齿轮2344啮合传动，该旋转齿轮2344向一个方向旋转时，卡合板221打开，在旋转齿轮2344向另一个方向旋转时，卡合板221闭合；所述第一清洁组件222与第二清洁组件223结构一致，其中，第一清洁组件包括弹性压条、及设在弹性压条前端的清洁头，该清洁头压触在转换镜头213前端，且清洁头与弹性压条可拆卸式连接。

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