申请/专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院

申请日：2020-08-17

公开（公告）日：2020-11-24

公开（公告）号：CN111986974A

主分类号：H01J37/32(20060101)

分类号：H01J37/32(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.06.30#授权;2020.12.11#实质审查的生效;2020.11.24#公开

摘要：本发明公开了一种电子束等离子体源辅助等离子体源的磁约束系统及方法，包括：主电子束等离子体源，通过真空法兰连接到辅助等离子体源；所述辅助等离子体源包括一个介质真空腔、射频天线、磁体支撑机构、以及一个或多个磁体；所述辅助等离子体源通过射频加热激发产生等离子体；所述介质真空腔外围包裹着射频天线，用于加热激发等离子体；所述的介质真空腔外围还设置有磁体支撑机构，其上设置有所述磁体，用于制造磁场对激发等离子体加以约束，磁体支撑机构通过垂直调节机构对磁体与磁体之间及磁体与腔体之间的距离的调节；使磁力线不进入主电子束等离子体源范围，从而在实现辅助等离子体源补充自由基的同时，不影响主电子束等离子体源的整体电势。

主权项：1.一种电子束等离子体源辅助等离子体源的磁约束系统，其特征在于，包括：主电子束等离子体源，通过真空法兰连接到辅助等离子体源；所述辅助等离子体源包括一个介质真空腔、射频天线、磁体支撑机构、以及一个或多个磁体；所述辅助等离子体源通过射频加热激发产生等离子体；所述介质真空腔外围包裹着射频天线，用于加热激发等离子体；所述的介质真空腔外围还设置有磁体支撑机构，其上设置有所述磁体，用于制造磁场对激发等离子体加以约束，磁体支撑机构通过垂直调节机构对磁体与磁体之间及磁体与腔体之间的距离的调节；使磁力线不进入主电子束等离子体源范围，从而在实现辅助等离子体源补充自由基的同时，不影响主电子束等离子体源的整体电势。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院合肥物质科学研究院 电子束等离子体源辅助等离子体源的磁约束系统及方法

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