申请/专利权人：连城凯克斯科技有限公司

申请日：2020-08-24

公开（公告）日：2020-11-24

公开（公告）号：CN111979580A

主分类号：C30B29/06(20060101)

分类号：C30B29/06(20060101);C30B35/00(20060101);B08B9/051(20060101);F04B39/12(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.12.11#实质审查的生效;2020.11.24#公开

摘要：本发明提供一种抽空管道在线自清洁装置，所述自清洁装置设置在硅单晶炉的真空抽空管道上，且所述自清洁装置靠近所述真空抽空管道的入口处，所述真空抽空管道上开设有穿入孔；所述自清洁装置包括通过所述穿入孔穿入所述真空抽空管道内的搅拌清洁装置和设置在所述真空抽空管道外，并驱动所述搅拌清洁装置工作的驱动机构。本发明能够在硅单晶炉正常运行状态下，驱动减速电机，带动搅拌清洁装置旋转，切割搅拌附着在真空抽空管道入口段内壁的杂质或挥发物，使所述杂质或挥发物脱离所述真空抽空管道内壁，并受真空泵组抽空负压力作用，所述杂质或挥发物流向过滤器和真空泵组、远离真空炉室，起到在线自清洁的作用。

主权项：1.一种抽空管道在线自清洁装置，其特征在于，所述自清洁装置设置在硅单晶炉的真空抽空管道上，且所述自清洁装置靠近所述真空抽空管道的入口处，所述真空抽空管道上开设有穿入孔；所述真空抽空管道靠近其入口处具有冷水夹层；所述自清洁装置包括通过所述穿入孔穿入所述真空抽空管道内的搅拌清洁装置和设置在所述真空抽空管道外，并驱动所述搅拌清洁装置工作的驱动机构；所述搅拌清洁装置包括旋转轴，所述旋转轴在所述真空抽空管道内的一端固定有搅拌机构，且所述搅拌机构靠近所述真空抽空管道的入口处；所述驱动机构包括密封所述穿入孔的磁流体密封装置和驱动所述旋转轴转动的减速电机，所述旋转轴在所述真空抽空管道外的一端通过所述磁流体密封装置与所述减速电机的输出端连接。

全文数据：

权利要求：

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