申请/专利权人：村田机械株式会社

申请日：2017-01-24

公开（公告）日：2020-11-24

公开（公告）号：CN108698757B

主分类号：B65G1/04(20060101)

分类号：B65G1/04(20060101);H01L21/677(20060101);B65G1/00(20060101)

优先权：["20160303 JP 2016-041532"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.11.24#授权;2018.11.16#实质审查的生效;2018.10.23#公开

摘要：输送系统100具备：行驶导轨4，具有多个第一导轨9与多个第二导轨11，将多个第一导轨9与多个第二导轨11呈格子状配置于同一平面上；和多个台车8，具有能够在行驶导轨4上向第一方向和第二方向行驶的行驶部24与包含将载体50保持的保持部46A及使保持部46A升降的升降部45的移载部26，行驶导轨4配置为能够使台车8自如移入在实施规定的工序的处理的第一处理装置组中的各移载端口的正上方配置有移载部26的第一停止位置，并且能够使台车8从第一停止位置自如移入在实施与规定的工序不同的工序的处理的第二处理装置组中的各移载端口的正上方配置有移载部26的第二停止位置。

主权项：1.一种输送系统，其是将收容基板的载体在对所述基板进行处理的多个处理装置中的各移载端口彼此之间进行输送的输送系统，其具备：行驶导轨，其具有向第一方向呈直线状延伸的多个第一导轨、和向与所述第一方向正交的第二方向延伸的多个第二导轨，多个所述第一导轨与多个所述第二导轨在同一平面上呈格子状配置；以及多个台车，它们具有能够在所述行驶导轨上向所述第一方向和所述第二方向行驶的行驶部、和包含对所述载体进行保持的保持部及使所述保持部升降的升降部的移载部，所述行驶导轨配置为能够使所述台车自如移入在实施规定的工序的处理的第一处理装置组中的各所述移载端口的正上方配置有所述移载部的第一停止位置，并且能够使所述台车从所述第一停止位置自如移入在实施与所述规定的工序不同的工序的处理的第二处理装置组中的各所述移载端口的正上方配置有所述移载部的第二停止位置，所述台车在所述移载部位于比所述行驶导轨靠下侧的位置的状态下在所述行驶导轨上行驶，所述第一处理装置组和所述第二处理装置组分别具有沿着所述第一方向配置的多个所述移载端口和沿着所述第二方向配置的多个所述移载端口，在所述第一处理装置组和所述第二处理装置组各组中，沿着所述第一方向或者所述第二方向配置的多个所述移载端口包含彼此不配置在一条直线上且配置于在所述第一方向或者所述第二方向上错开的位置的移载端口，所述行驶导轨配置为能够使所述台车自如移入在所述第一处理装置组中的各所述移载端口的正上方配置有所述移载部的所述第一停止位置，并且能够使所述台车从所述第一停止位置自如移入在所述第二处理装置组中的各所述移载端口的正上方配置有所述移载部的所述第二停止位置。

全文数据：输送系统技术领域[0001]本发明涉及输送系统。背景技术[0002]作为以往的输送系统，例如，公知有专利文献1所记载的系统。专利文献1所记载的输送系统具备:第一轨道，其在处理装置的装载端口的上部通过;顶棚行驶车，其沿着第一轨道行驶，并且具备吊车;第二轨道，其在第一轨道的下方且在装载端口的上方通过，并且与第一轨道平行配置;用于放置载体的暂存区，其在第二轨道的下方且在比装载端口高的位置，设置为使载体在装载端口的正上方部分在铅垂方向上自如通过；以及区域台车，其具备在暂存区和装载端口之间交接载体的吊车，并且沿着第二轨道行驶。[0003]专利文献1:日本特开2012—111635号公报[0004]在现有的技术中，通常，第一轨道在工序之间设置，通过顶棚行驶车在工序之间进行载体的输送。但是，在上述轨道中，顶棚行驶车所能够采用的行驶路径受限，存在其他的顶棚行驶车堵塞行驶路径等，妨碍后续的顶棚行驶车的行驶，而使工序之间的输送效率降低之虞。发明内容[0005]本发明的一个方面的目的在于，提供一种可实现工序之间的载体的输送效率的提高的输送系统。[0006]本发明的一个方面的输送系统，是将收容基板的载体在对基板进行处理的多个处理装置中的各移载端口彼此之间进行输送的输送系统，具备:行驶导轨，其具有向第一方向呈直线状延伸的多个第一导轨、和向与第一方向正交的第二方向延伸的多个第二导轨，多个第一导轨与多个第二导轨在同一平面上呈格子状配置；以及多个台车，它们具有能够在行驶导轨上向第一方向和第二方向行驶的行驶部、和包含对载体进行保持的保持部及使保持部升降的升降部的移载部，行驶导轨配置为能够使上述台车自如移入在实施规定的工序的处理的第一处理装置组中的各移载端口的正上方配置有移载部的第一停止位置，并且能够使台车从第一停止位置自如移入在实施与规定的工序不同的工序的处理的第二处理装置组中的各移载端口的正上方配置有移载部的第二停止位置。[0007]在本发明的一个方面的输送系统中，行驶导轨配置为能够使台车自如移入在实施规定的工序的处理的第一处理装置组中的各移载端口的正上方配置有移载部的停止位置，并且能够使台车自如移入在实施与规定的工序不同的工序的处理的第二处理装置组中的各移载端口的正上方配置有移载部的停止位置。由此，在输送系统中，当通过台车在第一处理装置组的移载端口与第二处理装置组的移载端口之间输送载体的情况下，能通过第一方向和第二方向的组合采用多个行驶路径，因此能够选择将已停止并正在进行移载动作的行进方向前方的其他的台车超过去的行驶路径来输送载体。因此，在输送系统中，可实现载体在工序之间输送的输送效率的提高。[0008]在一个实施方式中，也可以是，多个移载端口在第一处理装置组和第二处理装置组各组中，沿着第一方向或者第二方向彼此相邻地配置，行驶导轨配置为能够使台车从在第一处理装置组和第二处理装置组中以排列方向平行的方式设置的多个移载端口的正上方配置有移载部的第一停止位置自如移入第二停止位置。在该结构中，能够提高载体在第一处理装置组与第二处理装置组之间输送的输送效率。[0009]在一个实施方式中，也可以是，行驶导轨配置为能够使台车从在第一处理装置组和第二处理装置组中在互为对置地配置的多个移载端口的正上方配置有移载部的第一停止位置自如移入第二停止位置。在该结构中，能够更进一步提高载体在第一处理装置组与第二处理装置组之间输送的输送效率。[0010]在一个实施方式中，也可以是，具备多个使多个移载端口的排列方向成为平行地设置的第一处理装置组和第二处理装置组，行驶导轨配置为能够使台车自如移入在一个第一处理装置组和第二处理装置组的移载端口的正上方配置有移载部的第一停止位置，并且能够使台车从第一停止位置自如移入在其他的第一处理装置组和第二处理装置组的移载端口的正上方配置有移载部的第二停止位置。在该结构中，能够更进一步提高载体在由第一处理装置组和第二处理装置组构成的组彼此间输送的输送效率。[0011]在一个实施方式中，也可以是，第一处理装置组和第二处理装置组分别具有沿着第一方向配置的多个移载端口和沿着第二方向配置的多个移载端口，在第一处理装置组和第二处理装置组各组中，沿着第一方向或者第二方向配置的多个移载端口包含彼此不配置在一条直线上且配置于在第一方向或者第二方向上错开的位置的移载端口，行驶导轨配置为能够使台车自如移入在第一处理装置组中的各移载端口的正上方配置有移载部的第一停止位置，并且能够使台车从第一停止位置自如移入在第二处理装置组中的各移载端口的正上方配置有移载部的第二停止位置。在该结构中，能够提高移载端口的配置的自由度，进而提高处理装置的配置的自由度。[0012]在一个实施方式中，也可以是，台车在移载部位于比行驶导轨靠上侧的位置的状态下行驶在行驶导轨上，行驶导轨中，在俯视时包含移载端口在内的区域成为开口部，台车经由开口部通过移载部相对于移载端口进行载体的移载。由此，对于在移载部位于比行驶导轨靠上侧的位置的状态下行驶在行驶导轨上的台车的结构而言，即使在俯视时的移载端口四周设置有行驶导轨，台车也能够向移载端口移载载体。[0013]在一个实施方式中，也可以是，具备对载体进行保管的保管部，行驶导轨配置为能够使台车自如移入在保管部的正上方配置有移载部的停止位置。在该结构中，能够在能够通过行驶在行驶导轨上的台车向移载端口输送载体的位置临时保管载体。[0014]在一个实施方式中，也可以是，行驶导轨的多个第一导轨与多个第二导轨各自隔开能够使各载体在铅垂方向上通过的间隔地配置，保管部设置于由第一导轨与第二导轨划分的空间的正下方，台车经由空间通过移载部对保管部进行载体的移载。在该结构中，对于在移载部位于比行驶导轨靠上侧的位置的状态下在行驶导轨上行驶的台车的结构而言，能够在不妨碍台车的行驶的位置保管大多数的载体。[0015]在一个实施方式中，也可以是，开口部具有包含设置于一个处理装置的多个移载端口在内的区域。在该结构中，能够确保俯视时的行驶导轨与移载端口间的相对位置的自由度。[0016]在一个实施方式中，也可以是，移载部具有能够使升降部在与沿着第一方向和上述第二方向的平面平行的方向上进退的移动部，台车在形成开口部的第一导轨和第二导轨的至少一者之上停止，使移动部进出，由此经由开口部向移载端口移载载体。在该结构中，能够扩大开口部的区域。因此，能够确保俯视时的行驶导轨与移载端口间的相对位置的自由度。[0017]在一个实施方式中，也可以是，行驶导轨配置为能够使台车停止在移载端口的正上方，台车停止在移载端口的正上方，经由开口部向移载端口移载载体。在该结构中，能够向移载端口迅速地移载载体。[0018]在一个实施方式中，也可以是，台车在移载部位于比行驶导轨靠下侧的位置的状态下在行驶导轨上行驶。在该结构中，即使在行驶导轨没有设置开口部，也能够向移载端口移载载体。[0019]在一个实施方式中，也可以是，在行驶导轨中，在台车相对于移载端口停止的停止位置设置被检测体，台车具备检测被检测体的检测部，行驶部基于检测部的检测结果，使台车停止在停止位置。在该结构中，能够使台车精度良好地停止在相对于移载端口的停止位置。_[0020]根据本发明的一个方面，可实现工序之间的载体的输送效率的提高。附图说明[0021]图1是一个实施方式的输送系统的俯视图。[0022]图2是表示图1所示的输送系统的局部的立体图。[0023]图3是表示在图1所示的输送系统的行驶导轨的下方设置于的处理装置的图。[0024]图4是表示行驶导轨的图。[0025]图5是表示台车的图。[0026]图6是从底面侧观察台车的图。[0027]图7是表示台车的移载部将滑动式叉具伸长的状态的图。[0028]图8是表示设置有条形码的行驶导轨的图。[0029]图9是表示行驶导轨的图。[0030]图1〇是台车位于在装载端口的正上方配置有移载部的停止位置的图。[0031]图11是用于对台车的动作进行说明的图。[0032]图12是用于对台车的动作进行说明的图。[0033]图13是用于对台车的动作进行说明的图。[0034]图14是表示其他的实施方式的输送系统的行驶导轨的图。[0035]图15是表示其他的实施方式的输送系统的台车的图。[0036]图16是表示其他的实施方式的输送系统的台车的图。[0037]图17是表示其他的实施方式的输送系统的行驶导轨的图。[0038]图18是表示其他的实施方式的输送系统的行驶导轨的图。具体实施方式_[0039]以下，参照附图，对本发明的优选的实施方式详细地进行说明。此外，在附图的说明中，对相同或者相当要素标注相同附图标记，并省略重复的说明。[0040]图1所示的输送系统100例如，是在具备多个处理装置的半导体制造工厂的无尘车间内，用于对收容有多个半导体晶圆等的基板的盒进行输送的系统。盒是半导体晶圆用的以输送和保管等为目的的载体，是FOUPFrontOpeningUnifiedPod、F0SBFrontOpeningShippingBox、SmifPod等。在本实施方式中，以输送F0UP50的输送系统为一个例子进行说明。FOUP50具备:主体部51、安装于主体部51的开口部的盖52以及设置于主体部51的上部的凸缘部53。输送系统100也具有作为将F0UP50暂时保管的临时保管系统的功能。[0041]如图1或图2所示，输送系统100具备：行驶导轨4、行驶在行驶导轨4上的多个台车8、轨道R以及行驶在轨道R上的高空输送车（日文:天井搬送車V。轨道R铺设于无尘车间的顶棚附近。轨道R跨输送系统1〇〇与其他的输送系统设置。轨道R的局部配置在行驶导轨4的上方。即，高空输送车V在行驶导轨4的上方行驶。与行驶在行驶导轨4上的台车8相比，高空输送车V在F0UP50的输送起点与输送目的地均位于轨道R的正下方的情况下，能够迅速地输送F0UP50，因此在上述的条件下，与台车8相比，高空输送车V使用在欲迅速地输送的F0UP50的输送。此外，轨道R也可以设置于与行驶导轨4相同的高度，或设置于比行驶导轨4靠下方。[0042]高空输送车V为0HTOverHeadTransfer。高空输送车V对设置于行驶导轨4的单元暂存区22后述输送F0UP50,并且从单元暂存区22拾取F0UP50并向其他的输送系统输送F0UP50。[0043]如图1所示，在行驶导轨4的下方设置有处理装置。具体而言，如图3所示，在行驶导轨4的下方设置有具有多个第一处理装置Ml的第一处理装置组G1、具有多个第二处理装置M2的第二处理装置组G2、具有多个第三处理装置M3的第三处理装置组G3、具备多个第四处理装置M4的第四处理装置组G4、具有多个第五处理装置M5的第五处理装置组G5、具有多个第六处理装置M6的第六处理装置组G6、具有多个第七处理装置M7的第七处理装置组G7、具有多个第八处理装置M8的第八处理装置组G8以及具有多个第九处理装置M9的第九处理装置组G9。第一处理装置组G1〜第九处理装置组G9分别进行半导体的制造的各工序（制造工序）的处理。第一处理装置组G1〜第九处理装置组G9例如，进行对半导体晶圆的成膜、半导体晶圆的清洗等。半导体的制造的处理不是在一个处理装置组中结束，而是在一个处理装置组中进行了处理后，还在其他的处理装置组中进行处理。[0044]第一处理装置组G1与第二处理装置组G2在Y方向上相邻配置。第一处理装置组G1与第三处理装置组G3在Y方向上相邻配置。第一处理装置组G1与第四处理装置组G4在X方向上相邻配置。第四处理装置组G4与第五处理装置组G5在Y方向上相邻配置。第三处理装置组G3与第五处理装置组G5在X方向上相邻配置。第四处理装置组G4与第七处理装置组67在丫方向上相邻配置。第四处理装置组G4与第六处理装置组G6在X方向上相邻配置。第六处理装置组G6与第七处理装置组G7在Y方向上相邻配置。第六处理装置组G6与第八处理装置组G8在X方向上相邻配置。第八处理装置组G8与第九处理装置组G9在Y方向上相邻配置。第七处理装置组G7与第九处理装置组G9在X方向上相邻配置。[0045]第一处理装置Ml〜第九处理装置M9是相对于半导体晶圆实施不同的处理的装置。艮P，第一处理装置组G1〜第九处理装置组G9分别实施互不相同的工序的处理。第一处理装置Ml〜第九处理装置M9的数量只有根据设计适当地设定即可。[0046]第一处理装置Ml具有使F0UP50内的半导体晶圆向第一处理装置Ml出入的接口亦即第一装载端口（移载端口）（以下，简称为“装载端口”）P1。在第一处理装置Ml例如，设置有三个第一装载端口P1。第二处理装置M2具有第二装载端口P2。第三处理装置M3具有第三装载端口P3。第四处理装置M4具有第四装载端口P4。第五处理装置M5具有第五装载端口P5。第六处理装置M6具有第六装载端口P6。第七处理装置M7具有第七装载端口P7。第八处理装置MS具有第八装载端口P8。第九处理装置M9具有第九装载端口P9。第一处理装置Ml〜第九处理装置M9中的第一装载端口P1〜第九装载端口四的数量只要适当地设定即可。[0047]在第一处理装置组G1中，第一处理装置Ml在Y方向上隔开规定的间隔配置。第一装载端口P1分别沿着Y方向配置。相同地，在第二处理装置组G2〜第九处理装置组G9各自当中，第二处理装置M2〜第九处理装置M9在Y方向上隔开规定的间隔配置。第二装载端口P2〜第九装载端口P9分别沿着Y方向配置。[0048]第一处理装置组G1的第一处理装置Ml与第四处理装置组G4的第四处理装置M4配置为第一装载端口P1与第四装载端口P4相对置。在第一装载端口P1与第四装载端口P4之间设置有通道A1。通道A1具有例如能够供工作人员歩行的宽度。在第二处理装置组G2与第三处理装置组G3之间设置有通道A2。在第三处理装置组G3与第五处理装置组G5之间设置有通道A3。在第六处理装置组G6与第八处理装置组G8之间设置有通道A4。在第七处理装置组G7与第九处理装置组G9之间设置有通道A5。[0049]如图1和图2所示，行驶导轨4在俯视时呈格子状设置。行驶导轨4例如，被支柱省略图示支承于无尘车间的顶棚。如图4所示，行驶导轨4由多个第一导轨9与多个第二导轨11构成。[0050]第一导轨9在X方向（第一方向）上呈直线状延伸。在第一导轨9设置有引导件10。引导件10为槽，且沿着第一导轨9的延伸方向设置。第二导轨11在与第一导轨9延伸的X方向正交的Y方向（第二方向）上呈直线状延伸。在第二导轨11设置有引导件12。引导件12为槽，且沿着第二导轨11的延伸方向设置。在第一导轨9的引导件10与第二导轨11的引导件12交叉的部分设置有交叉点14。[0051]如图5所示，在行驶导轨4的下方且在第一处理装置Ml〜第九处理装置M9的上方设置有暂存区6。暂存区6为供F0UP50载置的架，收容F0UP50。暂存区6被支承部件20支承于行驶导轨4。暂存区6由多个单元暂存区保管部22构成。单元暂存区22分别被设定于在行驶导轨4上由第一导轨9和第二导轨11划分的矩形状的单元空间）16各自当中。单元暂存区22分别保管一个F0UP50。在单元暂存区22中，经由单元16移载FOUP50。即，FOUP5〇在铅垂方向上通过单元16而被移载至单元暂存区22。如图5所示，暂存区6被设置于使载置于该暂存区6上的F0UP50的局部在从侧面观察时与行驶导轨4重叠的位置。[0052]如图2和图5所示，在行驶导轨4上设置有台车8。台车8在行驶导轨4上设置有多个。台车8具备行驶部24与移载部26。另外，台车8进一步具备控制行驶部24和移载部26的动作的控制部、能够与上级控制器进行通信的通信部等。控制部例如是由CPUCentralProcessingUnit、ROMReadOnlyMemory以及RAMRandomAccessMemory等构成的电子控制单元。台车8根据来自上级控制器的指令，输送F0UP50。[0053]行驶部24呈长方体状。行驶部24为在俯视时与单元16相同的尺寸。如图6所示，行驶部24具有多个在本实施方式中为四个行驶单元35。各行驶单元35分别具有多个在本实施方式中为两个）车轮32a或者车轮32b、行驶马达34以及上下机构切换部30。车轮32a在行驶部24的互为对置的两个边各设置两个。在行驶部24中，与设置有车轮32a的边正交并且在互为对置的两个边上，各设置两个车轮32b。车轮32a被第一导轨9的引导件10引导，而在第一导轨9的行驶面上行驶。车轮32b受第二导轨11的引导件12引导，而在第二导轨11的行驶面上行驶。行驶马达34驱动车轮32a、32b。上下机构30使车轮32a、32b和行驶马达34在上下方向上移动。上下机构30例如为缩放装置、凸轮等。[0054]行驶部24通过由上下机构30所产生的车轮32a、32b的上下方向的移动，使车轮32a或者车轮32b与第一导轨9的引导件10或者第二导轨11的引导件12接触，而沿着第一导轨9或者第二导轨11行驶。即，上下机构30使车轮32或者车轮32b在上下方向上移动，由此使行驶状态在使车轮32a沿着第一导轨9行驶的第一行驶状态、和使车轮32b沿着第二导轨11行驶的第二行驶状态之间切换。[0055]行驶部24具有传感器36与条形码阅读器检测部38。传感器36在行驶部24的四个角配置于底面。传感器36检测行驶导轨4的交叉点14。行驶部24基于由传感器36检测出的交叉点14，停止在使行驶部24的中心位于行驶导轨4的单元16的中心的位置。[0056]条形码阅读器38读取条形码被检测体B参照图8。条形码阅读器38分别设置于各行驶单元35，而配置于行驶部24的底面。如图8所示，在第一导轨9第二导轨11设置有条形码B。详细而言，条形码B配置于能够在第一处理装置Ml〜第九处理装置M9的第一装载端口P1〜第九装载端口P9的正上方配置移载部26的台车8的停止位置。行驶部24基于由条形码阅读器38检测出的条形码B，停止在相对于第一装载端口P1〜第九装载端口P9停止的停止位置。[0057]移载部26从行驶部24探出。移载部26具备滑动式叉具移动部40、转台44、升降装置升降部45、升降台46、俯瞰传感器47、48。[0058]滑动式叉具40支承于受行驶部24支承的支承体26A。滑动式叉具40具有基座部41、中间部42以及顶部43。基座部41设置于移载部26的支承体2GA。滑动式叉具40使升降装置45在与沿着X方向和Y方向的平面平行的方向上进退。如图7所示，顶部43相对于基座部41，例如以相当于单元16的一个边的行程，向移载部26的两侧进出。[0059]转台44设置于顶部43的下部。转台44使设置于该转台44的下部的升降装置45旋转。转台44例如设置为能够旋转180°。升降装置45通过带、绳、线等使升降台46升降。升降台46具有保持把持F0UP50的凸缘部53的夹子保持部46A。[0060]在使升降台46升降时，俯瞰传感器47、48检测升降台46四周的物体。如图6所示，俯瞰传感器47、48在顶部43配置于隔着升降装置45的位置。具体地，俯瞰传感器47、48配置于当在升降台46保持有F0UP50的状态下，FOUP50对物体的检测构不成妨碍的位置。移载部26也可以进一步具备对单元暂存区22中的F0UP50的有无进行检测的传感器、对设置于F0UP50的ID等进行读取的ID阅读器等。另外，为了避免与高空输送车V的接触，移载部26也可以进一步具备检测台车8四周的物体障碍物的传感器。[0061]台车8具有配重49。配重49设置于行驶部24。配重49具有抵消从移载部26施加于车轮32的力的力矩的功能。配重49将台车8的重心维持在由多个车轮32围起的范围内。[0062]接着，对行驶导轨4进一步详细地进行说明。如图1所示，行驶导轨4设置在第一处理装置组G1〜第九处理装置组G9上。行驶导轨4跨多个处理装置组地配置于设置有第一处理装置组G1〜第九处理装置组G9的区域的整个面。作为具体的一个例子，格子状的行驶导轨4例如跨第一处理装置组G1与第四处理装置组G4之间设置。即，行驶导轨4也设置于第一处理装置组G1与第四处理装置组G4之间的通道A1上。[0063]如图9所示，在行驶导轨4设置有开口部K。在图9所示的例子中，开口部K设置于第一处理装置Ml的第一装载端口P1的正上方铅垂上方）。开口部K是由第一导轨9与第二导轨11划分的区域。通过开口部K，第一装载端口P1的上方成为敞开的空间。换句话说，在开口部K的区域的下方不设置暂存区6。开口部K设定于包含多个这里为三个第一装载端口P1的区域。开口部K的长边方向（Y方向）的尺寸大于从第一装载端口P1的一端部至另一端部的同方向尺寸。开口部K设置于第一处理装置Ml〜第九处理装置M9的第一装载端口P1〜第九装载端口P9的上方。[0064]行驶导轨4配置为能够使台车8自如移入在第一装载端口P1〜第九装载端口P9的正上方配置有移载部26的停止位置。具体而言，行驶导轨4能够使台车8自如移入在实施规定的工序的处理的一个处理装置组第一处理装置组）中的各装载端口的正上方配置有移载部26的第一停止位置，并且配置为能够使台车8从第一停止位置自如移入在实施与规定的工序不同的工序的处理的其他的处理装置组第二处理装置组）中的在各装载端口的正上方配置有移载部26的第二停止位置。如图10所示，台车8例如在向第一装载端口P1移载FOUP50的情况下，停止于在第一装载端口P19的正上方存在移载部26的停止位置，经由开口部K使升降台46升降。[0065]参照图11〜图13，对台车8的动作进行说明。在图11〜图13中，说明如下的方式:在开口部K的区域内，装载端口（第一装载端口P1、第四装载端口P4比中央略靠近于第二导轨11，在面向附图时，台车8相对于第一装载端口P1停止在左侧的状态下，和在面向附图时，台车8相对于第四装载端口P4停止在右侧的状态下，分别通过滑动式叉具40使移载部26向第一装载端口P1、第四装载端口P4的正上方移动而进行F0UP50的移载。[0066]首先，如图11所示，例如，对从第一处理装置组G1的第一处理装置Ml的第一装载端口P1向第四处理装置组G4的第四处理装置M4的第四装载端口P4输送F0UP50的情况进行说明。如图11所示，台车8停止在在第一装载端口P1的正上方配置有移载部26的第一停止位置，拾取FOUP50。若拾取R3UP50，则台车8沿着Y方向移动至图示下侧的“1”所示的位置，之后，沿着X方向移动至图示右侧的“2”的位置。接着，台车8从“2”所示的位置移动并停止于在第四装载端口P4的正上方配置有移载部26的第二停止位置，向第四装载端口P4移载F0UP50。如以上那样，台车8利用最短的行驶路径将F0UP50从第一装载端口P1输送至第四装载端口P4。[0067]接着，如图12所示，例如，对在从第一处理装置组G1的第一处理装置Ml的第一装载端口P1向第四处理装置组G4的第四处理装置M4的第四装载端口P4输送FOUP5〇的情况下，例如为了进行F0UP50向单元暂存区22的移载而使其他的台车8在行驶导轨4上停止的情况进行说明。如图12所示，台车8停止于在第一装载端口P1的正上方配置有移载部26的第一停止位置，拾取F0UP50。一旦拾取F0UP50，则台车8沿着Y方向移动至图中下侧的“1”所示的位置，之后，沿着X方向移动至图中右侧的“2”的位置。接下来，台车8沿着Y方向移动至图中上侧的“3”所示的位置，之后，沿着X方向移动至图中右侧的“4”所示的位置。接下来，台车8沿着Y方向移动至图中下侧的“5”所示的位置，之后，沿着X方向移动至图中右侧的“6”所示的位置。然后，台车8从“6”所示的位置，移动到在第四装载端口P4的正上方配置有移载部26的第二停止位置并停止，向第四装载端口P4移载F0UP50。[0068]接着，如图13所示，例如，对在从第一处理装置组G1的第一处理装置Ml的第一装载端口P1向第四处理装置组G4的第四处理装置M4的第四装载端口P4输送F0UP50的情况下，使其他的台车8停止在行驶导轨4上的情况进行说明。如图13所示，台车8停止于在第一装载端口P1的正上方配置有移载部26的第一停止位置，拾取FOUP50。一旦拾取F0UP50，则台车8沿着Y方向在第一处理装置Ml上通过并移动至图中下侧的“1”所示的位置，之后，沿着X方向移动至图中右侧的“2”的位置。接着，台车8从“2”所示的位置，移动到在第四装载端口P4的正上方配置有移载部26的第二停止位置并停止，向第四装载端口P4移载FOUP50。[0069]如以上说明的那样，在本实施方式的输送系统100中，行驶导轨4配置为能够使台车8自如移入在实施规定的工序的处理的第一处理装置组中的各移载端口的正上方配置有移载部26的停止位置，并且能够使台车8自如移入在实施与规定的工序不同的工序的处理的第二处理装置组中的各移载端口的正上方配置有移载部26的停止位置。由此，在输送系统100中，当通过台车8在第一处理装置组的移载端口与第二处理装置组的移载端口之间输送FOUP50的情况下，能通过X方向和Y方向的组合而采用多个行驶路径，因此能够选择将已停止并正在进行移载动作的行进方向前方的其他的台车8超过去的行驶路径来输送载体。因此，在输送系统100中，可实现工序之间的FOUP50的输送效率的提高。[0070]在本实施方式的输送系统100中，第一处理装置组G1〜第九处理装置组G9分别具备实施互不相同的处理的第一处理装置Ml〜第九处理装置M9。在该结构中，在输送系统100中，当台车8在不同种类的处理装置之间输送F0UP50时，能通过X方向和Y方向的组合采用多个行驶路径，因此能够选择将已停止并正在进行移载动作的行进方向前方的其他的台车8超过去的行驶路径来输送F0UP50。因此，在输送系统100中，可实现工序之间的FOUP50的输送效率的提高。[0071]在本实施方式的输送系统100中，第一处理装置Ml〜第九处理装置M9的第一装载端口P1〜第九装载端口P9在第一处理装置组G1〜第九处理装置组G9中，沿着Y方向彼此相邻配置。行驶导轨4配置为能够使台车8自如移入在第一处理装置组G1〜第九处理装置组G9中排列方向成为平行地设置的第一装载端口P1〜第九装载端口P9的正上方配置有移载部26的第一停止位置或者第二停止位置。在该结构中，能够提高第一处理装置组G1〜第九处理装置组G9之间的F0UP50的输送效率。[0072]在本实施方式的输送系统100中，台车8在移载部26位于比行驶导轨4靠上侧的位置的状态下在行驶导轨上行驶。行驶导轨4在俯视时包含第一装载端口P1〜第九装载端口P9在内的区域成为开口部K。台车8经由开口部K通过移载部26对第一装载端口P1〜第九装载端口TO进行F0UP50的移载。由此，对于在移载部26位于比行驶导轨4靠上侧的位置的状态下在行驶导轨4上行驶的台车8的结构而言，即使在俯视时的第一装载端口P1〜第九装载端口P9四周设置行驶导轨4,也可以使台车8对第一装载端口P1〜第九装载端口P9移载F0UP50。[0073]在本实施方式的输送系统100中，行驶导轨4的多个第一导轨9与多个第二导轨11各自隔开能够供FOUP50在铅垂方向上通过的间隔地配置。单元暂存区22设置于由第一导轨9与第二导轨11划分的单元16的正下方。台车8经由单元16通过移载部26对单元暂存区22进行F0UP50的移载。在该结构中，对于在移载部26位于比行驶导轨4靠上侧的位置的状态下在行驶导轨4上行驶的台车8的结构而言，能够在不妨碍台车8的行驶的位置保管大多数的F0UP50。[0074]在本实施方式的输送系统100中，单元暂存区22设置得比第一装载端口P1〜第九装载端口P9靠上方。由此，能够实现台车8在单元暂存区22中移载FOUP5〇的时间缩短。其结果，更进一步实现F0UP50的输送效率的提高。另外，在输送系统1〇〇中不需要专有地上的空间，能够增加F0UP50的保管量。[0075]在本实施方式的输送系统100中，第一装载端口P1〜第九装载端口P9设置于第一处理装置Ml〜第九处理装置M9,开口部K具有包含设置于第一处理装置Ml〜第九处理装置M9的多个第一装载端口P1〜第九装载端口P9在内的区域。在该结构中，能够确保俯视时的行驶导轨4与第一装载端口P1〜第九装载端口P9之间的相对位置的自由度。[0076]在本实施方式的输送系统100中，台车8的移载部26具有能够使升降装置45在与沿着X方向和Y方向的平面平行的方向上进退的滑动式叉具40。台车8通过在形成开口部K的第一导轨9和第二导轨11的至少一者之上停止，使滑动式叉具40进出，而经由开口部K向第一装载端口P1〜第九装载端口P9移载F0UP50。在该结构中，能够扩大开口部K的区域。因此，能够更进一步确保俯视时的行驶导轨4与第一装载端口P1〜第九装载端口TO之间的相对位置的自由度。[0077]在本实施方式的输送系统100中，在行驶导轨4中，在台车8相对于第一装载端口P1〜第九装载端口P9停止的停止位置设置有条形码B。台车8具备检测条形码B的条形码阅读器38。台车8的行驶部24基于条形码阅读器38的检测结果，使台车8停止在停止位置。在该结构中，能够使台车8精度良好地停止在相对于第一装载端口P1〜第九装载端口P9停止的停止位置。[0078]以上，对本发明的一个实施方式进行了说明，但本发明不限定于上述实施方式。[0079]在上述实施方式中，以具备轨道R和高空输送车V的方式为一个例子进行了说明，但也可以不具备轨道R和高空输送车V。[0080]在上述实施方式中，以第一装载端口P1〜第九装载端口P9沿着Y方向配置的方式为一个例子进行了说明。但是，第一装载端口P1〜第九装载端口TO的配置方式不限定于此。第一装载端口P1〜第九装载端口P9只要根据设计适当地设置即可。例如，如图14所示，在第一处理装置组G1中，各第一处理装置Ml的第一装载端口P1沿着Y方向或者X方向分别配置。第一装载端口P1的排列方向不是设置在一条直线上，而是沿Y方向或者X方向错开配置。相同地，在第二处理装置组G2中，各第二处理装置M2的第二装载端口P2沿着Y方向或者X方向分别配置。第二装载端口P2的排列方向不设置在一条直线上，而沿Y方向或者X方向错位配置。即便在该结构中，在输送系统100中，也能通过行驶导轨4中的X方向和Y方向的组合，使台车8采用多个行驶路径，因此能够在不平行设置的多个装载端口彼此之间高效地输送FOUP50。另外，在该结构中，能够提高第一装载端口P1〜第九装载端口P9的配置的自由度，进而提高第一处理装置Ml〜第九处理装置M9的配置的自由度。[0081]在上述实施方式中，以暂存区6设置于使载置于该暂存区6上的F0UP50的局部在侧面观察时与行驶导轨4重叠的位置的方式为一个例子进行了说明。但是，暂存区6单元暂存区22也可以在与行驶导轨4相同的高度、或者在比行驶导轨4靠上方具备FOUP50的载置面。[0082]在上述实施方式中，以利用条形码阅读器38读取设置于行驶导轨4的条形码B的方式为一个例子进行了说明。但是，设置于行驶导轨4的被检测体也可以为例如磁性记号、光学记号、线性刻度等。检测部只要能够检测这些被检测体即可。[0083]在上述实施方式中，以在单元暂存区22收容一个FOUP50的方式为一个例子进行了说明。但是，也可以在单元暂存区22收容有多个FOUP50。[0084]在上述实施方式中，以台车8的移载部26具备滑动式叉具40的方式为一个例子进行了说明。但是，也可以改变滑动式叉具40而具备平面关节型机械手臂（SelectiveComplianceAssemblyRobotArm等的水平方向上进退的臂。[0085]在上述实施方式中，以台车8具备行驶部24和移载部26,移载部26从行驶部24伸出的方式为一个例子进行了说明。但是，台车的方式不限定于此。例如，如图15所示，台车70在行驶部72具备滑动式叉具40。另外，台车也可以是臂状的移载部绕行驶部的重心旋转的结构。在该结构中，移载部也可以不具备滑动式叉具。[0086]另外，如图I6所示，台车80具有行驶部84和移载部86。台车80也可以是位于行驶导轨4的下方的位置，以行驶部84被行驶导轨4吊挂的状态行驶的方式。在该结构中，即使不在行驶导轨4设置开口部，也能够向第一装载端口P1〜第九装载端口P9移载F0UP50。另外，台车也可以是停止在行驶导轨4的单元I6的正上方，能够经由该单元16移载F0UP50的方式。艮P，台车的移载部也可以不具备滑动式叉具。在该结构中，在相对于第一装载端口P1〜第九装载端口P9移载FOUP5〇时，不需要使移载部进出，因此能够相对于第一装载端口P1〜第九装载端口P9迅速地移载F0UP50。[0087]在上述实施方式中，以台车8的行驶部24具备上下机构30的方式为一个例子进行了说明。但是，使行驶状态在沿着第一导轨9行驶的第一行驶状态和沿着第二导轨11行驶的第二行驶状态之间切换的切换部的结构不限定于此。切换部能够采用各种机构。例如，切换部也可以是能够使车轮行驶单元相对于行驶部移动的机构。在该结构中，通过切换部使车轮移动，由此在行驶部沿着Y方向行驶的情况下，使车轮配置为沿着Y方向，在行驶部沿着X方向行驶的情况下，使车轮配置为沿着X方向。[0088]在上述实施方式中，以在设置于行驶导轨4的开口部K的区域内存在多个装载端口的方式为一个例子进行了说明。但是，如图17所示，开口部K也可以设置为在区域内包含一个第一装载端口P1。在该结构中，台车8也可以是位于行驶导轨4的开口部K上，并能够经由该开口部K移载F0UP50的结构。在该结构中，能够相对于第一装载端口P1〜第九装载端口P9更加迅速地移载F0UP50。[0089]在上述实施方式中，以由设置有引导件10的第一导轨9和设置有引导件12的第二导轨11构成的行驶导轨4为一个例子进行了说明。但是，行驶导轨也可以是例如图18所示的方式。如图18所示，行驶导轨17由第一导轨18和第二导轨19构成。在第一导轨18设置有两条引导件10、10。在第二导轨19设置有两条引导件12、12。在引导件10与引导件10之间、引导件12与引导件12之间设置有分离体。分离体21呈凸状，使引导件10与引导件10、引导件12与引导件12分离。在具备行驶导轨17的输送系统中，能够使两台台车8同时位于第一导轨18或者第二导轨19上。[0090]附图标记的说明[0091]4…行驶导轨;6…暂存区;8…台车;9…第一导轨；11…第二导轨;22…单元暂存区保管部）；24…行驶部;26…移载部;38…条形码阅读器检测部）；45…升降装置升降部）；46A…夹子保持部）；50…FOUP载体）；100…输送系统;B…条形码被检测体）；P1〜P9…第一装载端口〜第九装载端口。

权利要求：1.一种输送系统，其是将收容基板的载体在对所述基板进行处理的多个处理装置中的各移载端口彼此之间进行输送的输送系统，其具备：行驶导轨，其具有向第一方向呈直线状延伸的多个第一导轨、和向与所述第一方向正交的第二方向延伸的多个第二导轨，多个所述第一导轨与多个所述第二导轨在同一平面上呈格子状配置;以及多个台车，它们具有能够在所述行驶导轨上向所述第一方向和所述第二方向行驶的行驶部、和包含对所述载体进行保持的保持部及使所述保持部升降的升降部的移载部，所述行驶导轨配置为能够使所述台车自如移入在实施规定的工序的处理的第一处理装置组中的各所述移载端口的正上方配置有所述移载部的第一停止位置，并且能够使所述台车从所述第一停止位置自如移入在实施与所述规定的工序不同的工序的处理的第二处理装置组中的各所述移载端口的正上方配置有所述移载部的第二停止位置。2.根据权利要求1所述的输送系统，其中，多个所述移载端口在所述第一处理装置组和所述第二处理装置组各组中，沿着所述第一方向或者所述第二方向彼此相邻地配置，所述行驶导轨配置为能够使所述台车从在所述第一处理装置组和所述第二处理装置组中以排列方向平行的方式设置的多个所述移载端口的正上方配置有所述移载部的所述第一停止位置自如移入所述第二停止位置。3.根据权利要求2所述的输送系统，其中，所述行驶导轨配置为能够使所述台车从在所述第一处理装置组和所述第二处理装置组中在互为对置地配置的多个所述移载端口的正上方配置有所述移载部的所述第一停止位置自如移入所述第二停止位置。4.根据权利要求2或3所述的输送系统，其中，具备多个以使多个所述移载端口的排列方向平行的方式设置的所述第一处理装置组和所述第二处理装置组，所述行驶导轨配置为能够使所述台车自如移入在一个所述第一处理装置组和所述第二处理装置组的所述移载端口的正上方配置有所述移载部的所述第一停止位置，并且能够使所述台车从所述第一停止位置自如移入在其他的所述第一处理装置组和所述第二处理装置组的所述移载端口的正上方配置有所述移载部的所述第二停止位置。5.根据权利要求1或2所述的输送系统，其中，所述第一处理装置组和所述第二处理装置组分别具有沿着所述第一方向配置的多个所述移载端口和沿着所述第二方向配置的多个所述移载端口，_在所述第一处理装置组和所述第二处理装置组各组中，沿着所述第一方向或者所述第二方向配置的多个所述移载端口包含彼此不配置在一条直线上且配置于在所述第一方向或者所述第二方向上错开的位置的移载端口，所述行驶导轨配置为能够使所述台车自如移入在所述第一处理装置组中的各所述移载端口的正上方配置有所述移载部的所述第一停止位置，并且能够使所述台车从所述第二停止位置自如移入在所述第二处理装置组中的各所述移载端口的正上方配置有所述移载部的所述第二停止位置。6.根据权利要求1〜5中任一项所述的输送系统，其中，所述台车在所述移载部位于比所述行驶导轨靠上侧的位置的狖态卜仕上行驶，、1所述行驶导轨中，在俯视时包含所述移载端口在内的区域成为开口部，所述台车经由所述开口部通过所述移载部相对于所述移载端口进行所述载体的移载。7.根据权利要求1〜6中任一项所述的输送系统，其中，具备对所述载体进行保管的保管部，、找所述行驶导轨配置为能够使所述台车自如移入在所述保管部的正上方配置有所述杪载部的停止位置。8.根据权利要求7所述的输送系统，其中，、^所述行驶导轨的多个所述第一导轨与多个所述第二导轨各自隔开能够使各所述载体在铅垂方向上通过的间隔地配置，所述保管部设置于由所述第一导轨与所述第二导轨划分的空间的正下方，所述台车经由所述空间通过所述移载部对所述保管部进行所述载体的移载。9.根据权利要求6所述的输送系统，其中，所述开口部具有包含设置于一个处理装置的多个所述移载端口在内的区域。10.根据权利要求6所述的输送系统，其中，所述移载部具有能够使所述升降部在与沿着所述第一方向和所述第二方向的平面平行的方向上进退的移动部，所述台车在形成所述开口部的所述第一导轨和所述第二导轨的至少一者之上停止，使所述移动部进出，由此经由所述开口部向所述移载端口移载所述载体。11.根据权利要求6所述的输送系统，其中，所述行驶导轨配置为能够使所述台车停止在所述移载端口的正上方，所述台车停止在所述移载端口的正上方，经由所述开口部向所述移载端口移载所述载体。12.根据权利要求1〜5中任一项所述的输送系统，其中，所述台车在所述移载部位于比所述行驶导轨靠下侧的位置的状态下在所述行驶导轨上行驶。13.根据权利要求1〜12中任一项所述的输送系统，其中，在所述行驶导轨中，在所述台车相对于所述移载端口停止的停止位置设置有被检测体，所述台车具备检测所述被检测体的检测部，所述行驶部基于所述检测部的检测结果，使所述台车停止在所述停止位置。

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