申请/专利权人：上海禾赛科技股份有限公司

申请日：2019-01-14

公开（公告）日：2020-11-24

公开（公告）号：CN109765541B

主分类号：G01S7/481(20060101)

分类号：G01S7/481(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.11.24#授权;2019.06.11#实质审查的生效;2019.05.17#公开

摘要：一种扫描装置和激光雷达，所述扫描装置包括：沿光路依次设置的至少两个振镜，所述振镜具有运动部，所述运动部具有适于反射光线的反射面，所述振镜通过所述运动部的摆动来改变经所述反射面反射的光线的传播方向；至少一个弹性连接构件，所述弹性连接构件具有两个端部，所述两个端部分别与相邻的两个所述振镜的所述运动部相连接。本发明技术方案能够在不增加甚至降低加工和装配精度要求的前提下，使所述至少两个振镜的所述运动部的摆动按一定相位融合为同一谐振模态，从而兼顾成本降低和性能提高。

主权项：1.一种扫描装置，其特征在于，包括：沿光路依次设置的至少两个振镜，所述振镜具有运动部，所述运动部具有适于反射光线的反射面，所述振镜通过所述运动部的摆动来改变经所述反射面反射的光线的传播方向，所述至少两个振镜均具有转轴，所述运动部绕所述转轴摆动；至少一个弹性连接构件，所述弹性连接构件具有两个端部，所述两个端部分别与相邻的两个所述振镜的所述运动部相连接，所述弹性连接构件相连接的两个振镜的转轴相互平行。

全文数据：扫描装置和激光雷达技术领域本发明涉及激光探测领域，特别涉及一种扫描装置和激光雷达。背景技术激光雷达是一种常用的测距传感器，具有探测距离远、分辨率高、受环境干扰小等特点，广泛应用于智能机器人、无人机、无人驾驶等领域。近年来，自动驾驶技术发展迅速，激光雷达作为其距离感知的核心传感器，已不可或缺。在振镜式固态激光雷达中，通过振镜的反射面反射光线从而形成用于扫描的光线。单一振镜能达到的扫描视场往往不足以满足器件的视场角需求，为了应用需求，往往会在同一激光雷达中设置多个振镜。为了尽可能的增大视场角，振镜需要工作在其谐振频率上；而实际应用中，由于工艺误差的存在，相互独立的振镜的谐振频率并不一致。谐振频率精度的提高，往往伴随着振镜加工和装配精度要求的提高，造成设备成本的增加。发明内容本发明解决的问题是提供一种扫描装置和激光雷达，既不增加振镜加工和装配难度的要求，又使所述至少两个振镜的运动部以同一谐振模态实现摆动，以达到低成本、高性能的兼顾。为解决上述问题，本发明提供一种扫描装置，包括：沿光路依次设置的至少两个振镜，所述振镜具有运动部，所述运动部具有适于反射光线的反射面，所述振镜通过所述运动部的摆动来改变经所述反射面反射的光线的传播方向；至少一个弹性连接构件，所述弹性连接构件具有两个端部，所述两个端部分别与相邻的两个所述振镜的所述运动部相连接。可选的，所述至少两个振镜的所述反射面依次相对设置，使得所述光线在所述反射面上依次反射从而改变所述光线的传播方向。可选的，所述至少两个振镜具有相同的设计谐振频率。可选的，所述弹性连接构件包括：弹簧。可选的，所述弹性连接构件与所述运动部一体化制作；或者，所述弹性连接构件与所述运动部固定相连。可选的，所述至少两个振镜均具有转轴，所述运动部绕所述转轴摆动，且所述至少两个振镜的转轴相互平行设置；所述弹性连接构件设置于与所述转轴相垂直的第一平面内，且所述弹性连接构件在所述第一平面内进行弹性形变。可选的，所述运动部相对于所述第一平面呈轴对称结构。可选的，所述运动部具有至少一个与该运动部的反射面相垂直的端面；所述弹性连接构件的所述两个端部分别与相邻的两个所述振镜的所述运动部的所述端面相连接。可选的，相邻的两个所述振镜的所述转轴定义第二平面；连接相邻的两个所述振镜的所述弹性连接构件的两个端部位于所述第二平面的一侧。可选的，相邻的两个所述振镜的所述转轴定义第二平面；连接相邻的两个所述振镜的所述弹性连接构件的两个端部分别位于所述第二平面的两侧。可选的，所述弹性连接构件为V字型、U字型、圆弧型、Z字型或S字型中的任意一种形状。可选的，所述振镜包括MEMS振镜。可选的，所述振镜为一维振镜或二维振镜。此外，本发明还提供一种激光雷达，包括：激光发射装置、扫描装置、以及接收装置，所述扫描装置为本发明的扫描装置。与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：本发明技术方案中，相邻的两个所述振镜的所述运动部通过所述弹性连接构件相连，因此所述相邻的两个振镜的所述运动部能够以同一谐振模态实现摆动，即使谐振频率存在差异，所述相邻的两个振镜的所述运动部的摆动能够按一定相位融合为同一谐振模态，也就是说，本发明技术方案能够在不增加甚至降低加工和装配精度要求的前提下，使所述至少两个振镜的所述运动部的摆动按一定相位融合为同一谐振模态，从而兼顾成本降低和性能提高。本发明可选方案中，所述至少两个振镜具有相同的设计谐振频率。在所述扫描装置中设置设计谐振频率相同的振镜，所述至少两个振镜的谐振模态相近，能够有效提高所述至少两个振镜融合至的谐振模态的稳定性，有利于提高扫描装置的稳定性和精度。本发明可选方案中，所述至少两个振镜的所述反射面依次相对设置，所述光线在所述反射面上依次反射从而改变传播方向；因此随着所述运动部的摆动，经所述至少两个振镜的反射面多次反射的光线传播方向的变化角度也随之增大，从而能够有效扩展所述扫描装置所形成扫描光线的视场角。本发明可选方案中，所述弹性连接构件可以与所述运动部一体化制作，从而能够在所述振镜制作过程中实现弹性连接构件的制作，以提高工艺精度、降低工艺成本；所述弹性连接构件也可以与所述运动部固定相连，即所述弹性连接构件的设置无需影响现有振镜的工艺过程。所述弹性连接构件灵活的设置方式，能够有效降低所述扫描装置的制作成本。本发明可选方案中，所述弹性连接构件设置于与所述至少两个振镜的转轴相垂直的第一平面内，从而能够使所述弹性连接构件发生弹性形变的方向位于所述第一平面内，使所述弹性连接构件发生弹性形变的方向与所述至少两个振镜的摆动方向相匹配，以有效实现同一谐振模态的融合。本发明可选方案中，所述运动部相对于所述第一平面呈轴对称结构，能够有效保证以同一谐振模态摆动的所述至少两个振镜的运动部的稳定性，能够有效保证所述扫描装置的可靠性和稳定性。附图说明图1是本发明技术方案第一实施例的光路结构示意图；图2是振镜形成扫描光线的光路示意图；图3是本发明技术方案第二实施例的光路结构示意图；图4是本发明技术方案第三实施例的光路结构示意图。具体实施方式由背景技术可知，现有技术中具有多个振镜的扫描装置往往存在振镜的加工和装配精度要求较高的问题。例如，设计谐振频率都为600Hz的振镜，在由于工艺浮动、加工误差的存在，在加工完成后，就单个振镜而言，其谐振频率可能为601Hz，也可能为602Hz，或者为599Hz、598Hz。另一方面，现有激光雷达扫描装置还存在视场角过小的问题。单一振镜能达到的扫描视场角往往不足以满足器件的视场角需求。为了解决这个问题，一种方法是使用多束激光从不同的角度入射到镜面，从而拼接出更大的视场以满足需求。但是由于使用多束激光，那就需要多个相对独立的光学收发模组，且互相之间的装配精度需要达到一定要求，这会使得系统的成本变高。此外，多视场拼接，也大大增加了相关控制方法的复杂程度。另一种方法是使用多面振镜以相同频率和同步相位进行振动，对所接收的光线进行多次反射，从而起到增加扫描视场角的作用。为了尽可能增大视场角，这种方法中所采用的振镜需要工作在同一谐振频率。但是独立振镜之间谐振频率的差异，会使扫描角度出现拍频，从而引起扫描视场不稳定，出现某些区域没有扫描、某些区域扫描速度很快等问题。此外，由于振镜的品质因数Q值较高，带宽较小，使用同一频率驱动独立振镜，也会容易造成视场角极小的问题。为解决所述技术问题，本发明提供一种扫描装置，包括：沿光路依次设置的至少两个振镜，所述振镜具有运动部，所述运动部具有适于反射光线的反射面，所述振镜通过所述运动部的摆动来改变经所述反射面反射的光线的传播方向；至少一个弹性连接构件，所述弹性连接构件具有两个端部，所述两个端部分别与相邻的两个所述振镜的所述运动部相连接。本发明技术方案能够在不增加甚至降低加工和装配精度要求的前提下，使所述至少两个振镜的所述运动部的摆动按一定相位融合为同一谐振模态，从而兼顾成本降低和性能提高。为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。参考图1，示出了本发明技术方案第一实施例的光路结构示意图。如图1所示，所述扫描装置包括：沿光路依次设置的至少两个振镜110，所述振镜110具有运动部111，所述运动部111具有适于反射光线的反射面111r，所述振镜110通过所述运动部111的摆动来改变经所述反射面111r反射的光线的传播方向；至少一个弹性连接构件120，所述弹性连接构件120具有两个端部121，所述两个端部121分别与相邻的两个所述振镜110的所述运动部111相连接。相邻的两个所述振镜110的所述运动部111通过所述弹性连接构件120相连，因此所述相邻的两个振镜110的所述运动部111能够以同一谐振模态实现摆动，即使谐振频率存在差异，所述相邻的两个振镜110的所述运动部111的摆动能够按一定相位融合为同一谐振模态，也就是说，本发明技术方案能够在不增加甚至降低加工和装配精度要求的前提下，使所述至少两个振镜110的所述运动部111的摆动按一定相位融合为同一谐振模态，从而兼顾成本降低和性能提高。下面结合附图对本发明技术方案进行详细说明。所述振镜110包括具有反射面111r的运动部111，用于反射所接收的光线，并通过所述运动部111的摆动改变经所述反射面111r反射所形成的光线的传播方向，从而形成用于扫描的光线。结合参考图2，示出了振镜形成扫描光线的光路示意图。所述振镜110的运动部111的部分表面为所述反射面111r，投射至所述反射面111r的光线经所述反射面111r反射，形成光线132a。所述振镜110具有转轴112，所述运动部111绕所述转轴112摆动；随着所述运动部111的摆动，所述反射面111r也随之摆动。需要说明的是，图1仅示意性地示出了所述转轴112，在本发明的一实施例中所述转轴112的轴线垂直纸面设置；所述运动部111绕所述转轴112摆动。但是这种设置方式仅为一示例，本发明并不限制所述转轴的位置和设置方式。如图2所示，当所述运动部111绕所述转轴112转过角度为α时，所述反射面111r也发生α角度的转动；此时，经所述反射面111r反射所形成的光线132b与未发生转动时所形成的光线132a之间的夹角为2α。所以，在所述振镜110摆动角度为α时，经所述反射面111r所形成光线的视场角为2α。继续参考图1，所述扫描装置包括至少两个振镜110，所述至少两个振镜110沿光路依次设置，而且所述至少两个振镜110的所述反射面111r依次相对设置，使得所述光线在所述反射面111r上依次反射从而改变所述光线的传播方向。因此随着所述运动部111的摆动，经所述至少两个振镜110的反射面111r多次反射的光线传播方向的变化角度也随之增大，从而能够有效扩展所述扫描装置所形成扫描光线的视场角。具体的，如图1所示，所述扫描装置包括沿光路设置的两个振镜110，光线131投射至一个所述振镜110的反射面111r上，经所述反射面111r反射形成光线132a；在所述振镜110的运动部111转过角度为α时，形成光线132b，光线132a和光线132b之间夹角为2α，即经一个振镜反射所形成的光线的视场角为2α。所述光线132a投射至另一个所述振镜110的反射面111r上，经所述另一个所述振镜110的反射面111r反射形成光线133a；同时另一个所述振镜110的运动部111相应的也转过α时，形成光线133b，光线133a和光线133b之间夹角为4α，即经两个振镜反射所形成的光线的视场角为4α。本实施例中，所述至少两个振镜110具有相同的设计谐振频率。在所述扫描装置中设置设计谐振频率相同的振镜110，所述至少两个振镜110的谐振模态相近，能够有效提高所述至少两个振镜110融合至的同一谐振模态的稳定性，有利于保证扫描装置的稳定性和精度。需要说明的是，本发明其他实施例中，所述至少两个振镜也可以具有不同的设计谐振频率。由于品质因子Q是表示振镜阻尼性质的无量纲物理量，也表示振镜的共振频率相对于带宽的大小，因此所述至少两个振镜的谐振频率的差值上限取决于fQ，其中，f是所述振镜的谐振频率，Q为品质因子。还需要说明的是，本实施例中，所述振镜110包括MEMS振镜。采用在所述扫描装置中将所述振镜110设置为MEMS振镜，能够有效提高所述扫描装置的集成度，提高所述扫描装置的扫描频率。如图1所示，所述扫描装置还包括至少一个弹性连接构件120，所述弹性连接构件120位于相邻的两个所述振镜110的运动部111之间，用于实现相邻的两个所述振镜110的运动部111之间的弹性连接。具体的，所述弹性连接构件120能够发生弹性形变，所述弹性连接构件120的两个端部121，分别与相邻的两个振镜110的所述运动部111相连接。当同一弹性连接构件120连接的两个运动部111发生摆动时，由于两者之间是弹性相连的，所述两个运动部111的摆动在稳定后会按一定相位融合成同一个谐振模态，也就是说，即使所述相邻的两个振镜110的谐振模态频率存在差异，两个所述运动部111的摆动能够融合为同一谐振模态，既能够使两个运动部111的摆动融合为同一谐振模态，又能够不增加甚至降低对所述两个振镜110的装配和加工精度的要求，从而实现成本降低和性能提高的兼顾。例如，图1所示的两个振镜110的谐振频率分别为601Hz和602Hz。由于所述两个振镜110之间通过所述弹性连接构件120实现弹性连接；当稳定以后，所述两个振镜110的运动部110的摆动会融合为同一个谐振模态，耦合之后的谐振频率可以为601.5Hz。而且，在所述两个振镜110的摆动幅度为α时，由于所述扫描装置所接收的光线依次经过两个所述振镜110的反射面111r反射，所形成的用于扫描的光线的视场角为4α。为了实现弹性连接的功能，所述弹性连接构件120在外力作用下能够发生弹性形变。本实施例中，所述弹性连接构件120包括：弹簧，例如螺旋弹簧、涡卷弹簧或者弹簧片等。本发明其他实施例中，所述弹性连接构件120也可以为弹性材料支撑的连接结构。本实施例中，所述弹性连接构件120与所述运动部111一体化制作，即在所述振镜110的加工过程中，所述弹性连接构件120与所述运动部111同时制作完成。在所述振镜110制作过程中实现弹性连接构件120的制作，能够有效提高所述弹性连接构件120的制作精度，降低制作成本。例如，在一些实施例中，所述振镜包括钢片，所述钢片包括扭转轴和与之连接的内框，作为所述运动部的内框具有作为所述反射面的光滑表面以及与所述反射面相背的背面；所述振镜还包括固定连接部，所述固定部贴合于所述背面；所述弹性连接构件从所述固定连接部一侧延伸出，且与所述固定连接部一体相连。需要说明的是，本发明其他实施例中，所述弹性连接构件还可以与所述运动部固定相连，即所述弹性连接构件与所述振镜分开制作完成之后再固定相连。具体的，所述弹性连接构件的两个端部分别与所述相邻的两个所述振镜的运动部通过卡接、焊接等方式固定相连。使所述弹性连接构件与所述振镜分开制作，因此所述弹性连接构件的制作和设置不会影响现有振镜的工艺过程。所述弹性连接构件既能够与所述运动部一体化制作；又能够在制作完成之后再固定相连，所述弹性连接构件灵活的设置方式，能够有效降低所述扫描装置的制作成本。继续参考图1，所述至少两个振镜110均具有转轴112，所述运动部111绕所述转轴112摆动，且所述至少两个振镜110的转轴112相互平行设置；所述弹性连接构件120设置于与所述转轴112相垂直的第一平面图中未示出内，且所述弹性连接构件120在所述第一平面内进行弹性形变。在所述第一平面内设置所述弹性连接构件120能够使所述弹性连接构件120发生弹性形变的方向位于所述第一平面内，从而使所述弹性连接构件120发生弹性形变的方向与所述至少两个振镜110的摆动方向相匹配，以有效实现同一谐振模态的融合。需要说明的是，本实施例中，所述运动部111相对于所述第一平面呈轴对称结构，而且所述弹性连接构件120在所述第一平面内进行弹性形变，从而能够有效保证稳定后，所述弹性连接构件120所连接的两个运动部111摆动的稳定性和可靠性，有利于所述扫描装置性能的改善。如图1所示，所述运动部111具有至少一个与该运动部111的反射面111r相垂直的端面图中未标示；所述弹性连接构件120的所述两个端部121分别与相邻的两个所述振镜110的所述运动部110的所述端面相连接。本实施例中，相邻的两个所述振镜110的所述转轴112定义第二平面图中未示出；连接相邻的两个所述振镜110的所述弹性连接构件120的两个端部121位于所述第二平面的同侧。如前所述，本实施例中，所述转轴112垂直纸面设置，因此图1中所述第二平面垂直于纸面。具体的，所述弹性连接构件120相连的两个运动部111呈V型设置。所以，为实现所述两个振镜110的运动部111之间的连接，本实施例中，所述弹性连接构件120呈V字型、U字型或圆弧型中任意一种形状。所述扫描装置所接收的光线131与经所述两个振镜110依次反射后所形成的光线133a或133b均位于所述第二平面的同侧。另外，连接相邻的两个所述振镜110的所述弹性连接构件120的两个端部121位于相邻的两个所述振镜110的所述转轴112定义的第二平面的同侧。需要说明的是，如图1所述，本实施例中，所述振镜110设置为一维振镜，所述运动部111绕唯一的转轴摆动；所述弹性连接构件120连接于两个所述一维振镜的运动部之间。但是这种做法仅为一示例，本发明其他实施例中，所述振镜还可以设置为二维振镜，所述弹性连接构件实现所述二维振镜运动部之间的弹性连接。需要说明的是，本实施例中，所述弹性连接构件120相连的两个运动部111呈V型设置。但是这种做法仅为一示例，本发明其他实施例中，根据不同的光路需求，所述弹性连接构件也可以以其他形状设置。参考图3，示出了本发明技术方案第二实施例的光路结构示意图。本实施例与前一实施例相同之处，本发明在此不再赘述。本实施例与前一实施例不同之处在于，本实施例中，所述弹性连接构件220相连的两个运动部211近似平行设置。具体的，连接相邻的两个所述振镜210的所述弹性连接构件220的两个端部221分别位于相邻的两个所述振镜210的所述转轴212定义的第二平面的两侧。本实施例中，所述弹性连接构件120设置为Z字型或S字型中的任意一种形状，以连接所述两个振镜210的运动部211。如图3所示，本实施例中，所述扫描装置所接收的光线231与经所述两个振镜210依次反射后所形成的光线233a或233b分别位于所述第二平面的两侧。需要说明的是，如图1和图3所示，第一实施例和第二实施例中，所述扫描装置内振镜的数量均为两个。但是这种做法仅为一示例，本发明其他实施例中，所述扫描装置内振镜的数量还可以多于两个。参考图4，示出了本发明技术方案第三实施例的光路结构示意图。具体的，所述第一振镜310a、所述第二振镜310b和所述第三振镜310c依次相对排列设置，光线经所述第一振镜310a反射至所述第二振镜310b，再由所述第二振镜310b反射至所述第三振镜310c。本实施例中，所述扫描装置包括至少两个所述弹性连接构件320，分别位于所述第一振镜310a和所述第二振镜310b以及所述第二振镜310b和所述第三振镜310c之间。所述两个弹性连接构件320分别实现所述第一振镜310a和所述第二振镜310b以及所述第二振镜310b和所述第三振镜310c之间的弹性连接。因此，在稳定之后，本实施例中的三个振镜能够按一定相位融合为同一谐振模态。所以，当所述扫描装置中三个振镜的摆动幅度均为α时，在所接收光线331入射方向不变的前提下，经第一振镜310a反射的光线332的视场角为2α，经第二振镜310b反射的光线333的视场角为4α，经第三振镜310c反射的光线的视场角8α。可见，可以通过所述扫描装置中振镜数量的设置，控制用于扫描的光线视场角的大小以满足各种设备的需求。而且由于弹性连接构件320的设置，即使所述扫描装置中设置多个振镜，所述多个振镜的运动部依旧可以以同一谐振模态实现摆动，从而无需提高甚至能够降低对所述多个振镜加工和装配精度要求。相应的，本发明还提供一种激光雷达，包括：激光发射装置、扫描装置、以及接收装置，所述扫描装置为本发明所提供的扫描装置。所述激光发射装置包括激光器，作为光源以产生用于探测的激光光线。本实施例中，所述激光发射装置的具体技术方案参考现有激光雷达的光源，本发明对此不再赘述。所述扫描装置接收所述激光发射装置所产生的光线以形成扫描光线。所述扫描装置为本发明所提供的扫描装置。所述扫描装置的具体技术方案参考前述扫描装置的实施例，本发明在此不再赘述。所述扫描装置内包括通过弹性连接构件弹性相连的至少两个振镜，因此所述两个振镜的所述运动部能够以同一谐振模态实现摆动，即使谐振频率存在差异，相连的两个振镜的运动部的摆动能够按一定相位融合为同一谐振模态，从而能够在不增加甚至降低加工和装配精度要求的前提下，使所述至少两个振镜的所述运动部的摆动按一定相位融合为同一谐振模态，以达到兼顾成本降低和性能提高的目的。而且，本发明一些实施例中，所述至少两个振镜的所述反射面依次相对设置，所述激光发射装置所产生的光线投射至所述扫描装置，并在所述反射面上依次反射从而改变传播方向；随着所述运动部的摆动，经所述至少两个振镜的反射面多次反射的光线传播方向的变化角度也随之增大，从而能够有效扩展所述扫描装置所形成扫描光线的视场角。所述扫描装置所形成的扫描光线经待探测目标反射形成回波光线。所述接收装置接收所述回波光线并对所述回波光线进行光电转换以形成电信号从而实现探测。本实施例中，所述接收装置的具体技术方案参考现有激光雷达的接收装置，本发明对此不再赘述。虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

权利要求：1.一种扫描装置，其特征在于，包括：沿光路依次设置的至少两个振镜，所述振镜具有运动部，所述运动部具有适于反射光线的反射面，所述振镜通过所述运动部的摆动来改变经所述反射面反射的光线的传播方向；至少一个弹性连接构件，所述弹性连接构件具有两个端部，所述两个端部分别与相邻的两个所述振镜的所述运动部相连接。2.如权利要求1所述的扫描装置，其特征在于，所述至少两个振镜的所述反射面依次相对设置，使得所述光线在所述反射面上依次反射从而改变所述光线的传播方向。3.如权利要求1所述的扫描装置，其特征在于，所述至少两个振镜具有相同的设计谐振频率。4.如权利要求1所述的扫描装置，其特征在于，所述弹性连接构件包括：弹簧。5.如权利要求1所述的扫描装置，其特征在于，所述弹性连接构件与所述运动部一体化制作；或者，所述弹性连接构件与所述运动部固定相连。6.如权利要求2所述的扫描装置，其特征在于，所述至少两个振镜均具有转轴，所述运动部绕所述转轴摆动，且所述至少两个振镜的转轴相互平行设置；所述弹性连接构件设置于与所述转轴相垂直的第一平面内，且所述弹性连接构件在所述第一平面内进行弹性形变。7.如权利要求6所述的扫描装置，其特征在于，所述运动部相对于所述第一平面呈轴对称结构。8.如权利要求6所述的扫描装置，其特征在于，所述运动部具有至少一个与该运动部的反射面相垂直的端面；所述弹性连接构件的所述两个端部分别与相邻的两个所述振镜的所述运动部的所述端面相连接。9.如权利要求8所述的扫描装置，其特征在于，相邻的两个所述振镜的所述转轴定义第二平面；连接相邻的两个所述振镜的所述弹性连接构件的两个端部位于所述第二平面的一侧。10.如权利要求8所述的扫描装置，其特征在于，相邻的两个所述振镜的所述转轴定义第二平面；连接相邻的两个所述振镜的所述弹性连接构件的两个端部分别位于所述第二平面的两侧。11.如权利要求8所述的扫描装置，其特征在于，所述弹性连接构件为V字型、U字型、圆弧型、Z字型或S字型中的任意一种形状。12.如权利要求1所述的扫描装置，其特征在于，所述振镜包括MEMS振镜。13.如权利要求1所述的扫描装置，其特征在于，所述振镜为一维振镜或二维振镜。14.一种激光雷达，其特征在于，包括：激光发射装置、扫描装置、以及接收装置，所述扫描装置为如权利要求1至13任意一项所述的扫描装置。

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