申请/专利权人：龙岩海圣科技有限公司

申请日：2020-05-25

公开（公告）日：2020-11-24

公开（公告）号：CN212009278U

主分类号：G03F9/00(20060101)

分类号：G03F9/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.11.24#授权

摘要：本实用新型公开了一种自动曝光机的对位结构，包括有台框模组、CCD对位机构以及升降对位平台机构，台框模组包括有下框、上框及活动框，升降对位平台机构包括有对位平台和对位升降机构；在上框的开合端两侧设有上框自动对位机构，其包括有对位气缸、对位杆、对位轴和定位块，通过对位气缸调节对位杆前进或后退以驱动对位轴上下移动来调节上框与下框的平行度。本实用新型通过给下框及上框分别设置结构简单的对位机构，使下框及上框能够很方便地与CCD对位机构达到高度平行，并且操作方便；同时通过在下框设置限位气缸，通过限位气缸可以保证柔性线路板在真空吸附状态下即使遇到震动也不会发生变形及偏移，继续保持精确的对位状态。

主权项：1.一种自动曝光机的对位结构，包括有台框模组、CCD对位机构以及升降对位平台机构，台框模组及CCD对位机构装设在曝光机的机身上，CCD对位机构位于台框模组上方，升降对位平台机构设置于台框模组下方；台框模组包括有下框、上框及活动框，活动框位于下框与上框之间，上框通过上框固定轴与下框连接成可沿竖向空间旋转开合的结构；升降对位平台机构包括有对位平台和对位升降机构，对位平台装设于对位升降机构上，其特征在于：在上框的开合端两侧设置有上框自动对位机构，该上框自动对位机构包括有对位气缸、对位杆、对位轴和定位块，对位气缸与下框连接固定，对位杆与对位气缸的伸缩轴连接，且对位杆及对位气缸的伸缩轴与下框相互平行；对位轴与上框连接固定，且对位轴与上框相互垂直；定位块与下框连接固定，在定位块上沿竖直向开设有与对位轴相配的定位孔；在对位轴的侧面沿横向开设有与对位杆相配的对位锥孔，而对位杆的前端具有可插入该对位锥孔的锥形部，通过对位气缸调节锥形部插入或拔出对位锥孔的深度以驱动对位轴上下移动而实现上框与下框的平行度调节。

全文数据：

权利要求：

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