申请/专利权人:无锡畅景科技有限公司
申请日:2020-05-25
公开(公告)日:2020-11-24
公开(公告)号:CN212010910U
主分类号:H01L21/67(20060101)
分类号:H01L21/67(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2020.11.24#授权
摘要:本实用新型属于晶圆检测技术领域,涉及一种晶圆片打点器,包括检测仪、工作台和打点器,所述工作台中间部分设有一个可供打点器放置的矩形槽,所述矩形槽的一侧呈半圆状,所述检测仪设置在工作台顶部,所述检测仪的传感探头中心轴线垂直于矩形槽上半圆状的中心点,所述打点器设置在工作台上设有的矩形槽内,以解决现有技术中不断碰撞会使限位柱与驱动器会发生损伤,导致使用寿命降低,需要经常更换或者维修,会导致在作业过程中可能会发生故障,影响工作效率的情况。
主权项:1.一种晶圆片打点器,其特征在于,包括检测仪1、工作台2和打点器3,所述工作台2中间部分设有一个可供打点器3放置的矩形槽201,所述矩形槽201的一侧呈半圆状,所述检测仪1设置在工作台2顶部,所述检测仪1的传感探头中心轴线垂直于矩形槽201上半圆状的中心点,所述打点器3设置在工作台2上设有的矩形槽201内,所述打点器3包括第一限位组件31、第二限位组件32和打点组件33,所述第一限位组件31和第二限位组件32均设置在打点组件33上,所述第一限位组件31和第二限位组件32设置在打点组件33的两侧,所述第一限位组件31、第二限位组件32和打点组件33呈水平状并排设置。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 无锡畅景科技有限公司 一种晶圆片打点器
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