申请/专利权人：天津市宝利欣超硬材料有限公司

申请日：2020-02-28

公开（公告）日：2020-11-24

公开（公告）号：CN211999908U

主分类号：C23C16/27(20060101)

分类号：C23C16/27(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.11.24#授权

摘要：本实用新型的目的是提供一种气相沉积炉安装保护装置，其特征在于：由套管、防撞层、护板结构和减撞垫组成，套管为圆柱形中空结构，护板结构为弧形结构；整个套管、护板结构均采用PVC材质，小巧轻便、结实耐用，整体结构简单、使用方便，能够对气相沉积炉的内部进行清理，防止安装时衬底柱与阳极发生碰撞，导致阳极表面出现瑕疵、裂纹等不良现象，从而避免影响后续金刚石沉积的稳定性，对阳极起到保护作用的气相沉积炉安装保护装置，规范了对气相沉积炉的内部的衬底柱的拆卸操作，进而也避免了气相沉积炉内部其他元器件不被衬底柱所磕碰，尤其保护了阳极，延长了部件的使用寿命，提高了作业安全性。

主权项：1.一种气相沉积炉安装保护装置，其特征在于：由套管、防撞层、护板结构和减撞垫组成，所述防撞层位于套管的外部，所述防撞层与套管为固定连接，所述护板结构位于套管一端的开口位置处，所述护板结构与套管为固定连接，所述减撞垫位于护板结构的内侧，所述减撞垫与护板结构为固定连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 天津市宝利欣超硬材料有限公司 一种气相沉积炉安装保护装置

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