申请/专利权人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯光伏电力(洛阳)有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司

申请日：2020-03-31

公开（公告）日：2020-11-24

公开（公告）号：CN211989984U

主分类号：B08B3/08(20060101)

分类号：B08B3/08(20060101);B08B3/12(20060101);B08B13/00(20060101);B01F7/18(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.11.24#授权

摘要：本申请提供了一种硅片清洗装置，包括用以进行硅片清洗的清洗槽、若干储液箱、连接所述储液箱与清洗槽的输液管，若干所述储液箱分别用以存储不同的清洗药剂，至少部分所述储液箱内设置有搅拌器，且连接不同所述储液箱的输液管相互独立设置；所述硅片清洗装置还包括设置在所述输液管上的液泵、控制阀与流量计。本申请硅片清洗装置能够对金刚线切割后的硅片进行有效清洗，提升硅片清洗制程的稳定性，降低脏污片比例，且能减少清洗药剂的浪费，实现生产精益化；还能减少现场人员工作量，降低安全隐患。

主权项：1.一种硅片清洗装置，包括用以进行硅片清洗的清洗槽，其特征在于：所述硅片清洗装置还包括若干储液箱、连接所述储液箱与清洗槽的输液管，若干所述储液箱分别用以存储不同的清洗药剂，至少部分所述储液箱内设置有搅拌器，且连接不同所述储液箱的输液管相互独立设置；所述硅片清洗装置还包括设置在所述输液管上的液泵、控制阀与流量计。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯光伏电力(洛阳)有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 硅片清洗装置

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