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【发明公布】研磨仪_微思行(北京)科技有限公司_201910401339.5 

申请/专利权人:微思行(北京)科技有限公司

申请日:2019-05-11

公开(公告)日:2020-11-27

公开(公告)号:CN111999136A

主分类号:G01N1/28(20060101)

分类号:G01N1/28(20060101);B08B1/02(20060101);B08B1/04(20060101);B08B3/02(20060101);B08B3/04(20060101)

优先权:

专利状态码:失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态:2022.11.04#发明专利申请公布后的视为撤回;2020.11.27#公开

摘要:本申请涉及一种研磨仪。所述研磨仪包括基座、驱动装置和清洗装置。所述驱动装置设置于所述基座。所述驱动装置具有输出轴,所述输出轴设置有研磨件。所述清洗装置与所述基座间隔设置,用于清洗所述研磨件。通过所述输出轴能够带动所述研磨件研磨样品,研磨完后,可以直接用所述清洗装置清洗所述研磨件,然后继续使用所述研磨件,能够提高清洗效果和清洗效率。

主权项:1.一种研磨仪,其特征在于,包括:基座(100),驱动装置(200),设置于所述基座(100),所述驱动装置(200)具有输出轴(210),所述输出轴(210)设置有研磨件(300);清洗装置(10),用于清洗所述研磨件(300)。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 微思行(北京)科技有限公司 研磨仪

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