申请/专利权人:株式会社ORC制作所
申请日:2020-04-10
公开(公告)日:2020-11-27
公开(公告)号:CN111992893A
主分类号:B23K26/362(20140101)
分类号:B23K26/362(20140101);B23K26/70(20140101)
优先权:["20190527 JP 2019-098389"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2022.03.25#实质审查的生效;2020.11.27#公开
摘要:提供激光加工装置。即使在装置发生了摆动的情况下,也能够保持精度,即使处于摆动状态,也能够实施激光加工,所以提高生产力。一种激光加工装置,其具有:照明光学系统,其将线状的加工用激光照射到掩模,并且利用扫描机构对掩模进行扫描;投影光学系统,其将通过掩模后的加工用激光照射到被加工物;被加工物载置台,其载置被加工物,并且使被加工物在x‑y方向上移动;支承体,照明光学系统、掩模的支承部、投影光学系统和被加工物载置台固定于该支承体,使得照明光学系统、掩模的支承部、投影光学系统和被加工物载置台一体地位移;以及减振装置,其抑制支承体的振动。
主权项:1.一种激光加工装置,其特征在于,具有:照明光学系统,其将线状的加工用激光照射到掩模,并且利用扫描机构对所述掩模进行扫描;投影光学系统,其将通过所述掩模后的所述加工用激光照射到被加工物;被加工物载置台,其载置所述被加工物,并且使所述被加工物在x-y方向上移动;支承体,所述照明光学系统、所述掩模的支承部、所述投影光学系统和所述被加工物载置台固定于该支承体,使得所述照明光学系统、所述掩模的支承部、所述投影光学系统和所述被加工物载置台一体地位移;以及减振装置,其抑制所述支承体的振动。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 株式会社ORC制作所 激光加工装置
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