申请/专利权人：株式会社岛津制作所

申请日：2018-12-13

公开（公告）日：2020-11-27

公开（公告）号：CN112005086A

主分类号：G01H9/00(20060101)

分类号：G01H9/00(20060101);G01B11/00(20060101);G01B11/30(20060101);G01J9/02(20060101);G01N21/88(20060101)

优先权：["20180405 JP 2018-073165"]

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态：2023.12.08#发明专利申请公布后的驳回;2020.12.15#实质审查的生效;2020.11.27#公开

摘要：振动测量装置10具备：激励部信号发生器11和振子12，其在被检查物体中激发弹性波；照明部所述波长稳定化激光光源13和照明光透镜14，其使用波长稳定化激光光源13对被检查物体S的表面的测定区域进行频闪照明；以及位移测定部剪切散斑干涉仪15，其通过散斑干涉法或剪切散斑干涉法来一并测定所述测定区域的各点的在前后方向上的位移。通过使用波长稳定化激光光13，即使在被检查物S的表面凹凸大的情况下也能够得到干涉像。

主权项：1.一种振动测量装置，其特征在于，具备：激励部，其在被检查物体中激发弹性波；照明部，其使用波长稳定化激光光源对所述被检查物体的表面的测定区域进行频闪照明；以及位移测定部，其通过散斑干涉法或剪切散斑干涉法来一并测定所述测定区域的各点的在前后方向上的位移。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社岛津制作所 振动测量装置

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