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【发明公布】掩膜板框体组件和掩膜板组件_维信诺科技股份有限公司_202010732964.0 

申请/专利权人:维信诺科技股份有限公司

申请日:2020-07-27

公开(公告)日:2020-11-27

公开(公告)号:CN111996487A

主分类号:C23C14/04(20060101)

分类号:C23C14/04(20060101);C23C14/12(20060101);C23C14/24(20060101);H01L51/56(20060101)

优先权:

专利状态码:失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态:2023.10.27#发明专利申请公布后的驳回;2020.12.15#实质审查的生效;2020.11.27#公开

摘要:本申请公开了一种掩膜板框体组件和掩膜板组件,掩膜板框体组件包括框体和固定机构,框体用于对掩膜板提供支撑;固定机构用于固定掩膜板;固定机构与所述框体活动连接,用于动态调整所述掩膜板的张网力度精度。通过上述方式,本申请能够提高掩膜板的张网精度。

主权项:1.一种掩膜板框体组件,其特征在于,包括:框体;固定机构,用于固定掩膜板;所述固定机构与所述框体活动连接,用于动态调整所述掩膜板的张网力度和或张网精度。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 维信诺科技股份有限公司 掩膜板框体组件和掩膜板组件

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