申请/专利权人:维信诺科技股份有限公司
申请日:2020-07-27
公开(公告)日:2020-11-27
公开(公告)号:CN111996487A
主分类号:C23C14/04(20060101)
分类号:C23C14/04(20060101);C23C14/12(20060101);C23C14/24(20060101);H01L51/56(20060101)
优先权:
专利状态码:失效-发明专利申请公布后的驳回
法律状态:2023.10.27#发明专利申请公布后的驳回;2020.12.15#实质审查的生效;2020.11.27#公开
摘要:本申请公开了一种掩膜板框体组件和掩膜板组件,掩膜板框体组件包括框体和固定机构,框体用于对掩膜板提供支撑;固定机构用于固定掩膜板;固定机构与所述框体活动连接,用于动态调整所述掩膜板的张网力度精度。通过上述方式,本申请能够提高掩膜板的张网精度。
主权项:1.一种掩膜板框体组件,其特征在于,包括:框体;固定机构,用于固定掩膜板;所述固定机构与所述框体活动连接,用于动态调整所述掩膜板的张网力度和或张网精度。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 维信诺科技股份有限公司 掩膜板框体组件和掩膜板组件
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。