买专利,只认龙图腾
首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

【发明公布】阵列基板_深圳市华星光电半导体显示技术有限公司_202010801680.2 

申请/专利权人:深圳市华星光电半导体显示技术有限公司

申请日:2020-08-11

公开(公告)日:2020-11-27

公开(公告)号:CN112002708A

主分类号:H01L27/12(20060101)

分类号:H01L27/12(20060101);H01L21/77(20170101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.04.07#授权;2020.12.15#实质审查的生效;2020.11.27#公开

摘要:本申请提供一种阵列基板,其包括基底、衬底结构层、薄膜晶体管功能层和至少一压应力中和层,所述衬底结构层设置于所述基底上;所述薄膜晶体管功能层设置于所述衬底结构层上;所述压应力中和层至少集成在所述衬底结构层上,所述压应力中和层的张应力大于压应力。本申请改善了因氧化硅膜层的压应力大于张应力而发生的翘曲现象,提升了产品良率。

主权项:1.一种阵列基板,其特征在于,包括:基底;衬底结构层,所述衬底结构层设置于所述基底上;薄膜晶体管功能层,所述薄膜晶体管功能层设置于所述衬底结构层上;以及至少一压应力中和层,所述压应力中和层至少集成在所述衬底结构层上,所述压应力中和层的张应力大于压应力。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 阵列基板

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。