申请/专利权人：湖南兴晟新材料科技有限公司

申请日：2020-03-26

公开（公告）日：2020-11-27

公开（公告）号：CN212025452U

主分类号：C23C16/32(20060101)

分类号：C23C16/32(20060101);C23C16/458(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.11.27#授权

摘要：本实用新型提供了一种用于制备石墨托盘CVD‑SiC涂层的水平悬挂式旋转装置，包括：旋转组件设置有一大支撑旋转轴，大支撑旋转轴底部设置有一突出轴，大支撑旋转轴通过突出轴穿设在一炉底，突出轴穿过炉底固定设置在一炉外承力装置内；承载组件设置有一大承重板和四根支架，大承重板固定设置在大支撑旋转轴的上端，支架竖直设置在所述大承重板上，支架上设置有多层承重板，承重板的中心均开设有中心孔，中心孔内均穿设有一挂钩，每个挂钩的下端均挂设有石墨托盘，本装置结构稳定、使用便捷，涂层制备均匀且纯度高，并且装炉率高，合格率高，生产效率高，能够满足各行业MOCVD外延用的SiC涂层的石墨托盘、舟皿、工装等产品的生产需要。

主权项：1.一种用于制备石墨托盘CVD-SiC涂层的水平悬挂式旋转装置，其特征在于，包括：旋转组件，所述旋转组件设置有一大支撑旋转轴，所述大支撑旋转轴底部设置有一突出轴，所述大支撑旋转轴通过所述突出轴穿设在一炉底，所述突出轴穿过所述炉底固定设置在一炉外承力装置内；承载组件，所述承载组件设置有一大承重板和四根支架，所述大承重板固定设置在所述大支撑旋转轴的上端，四根所述支架竖直设置在所述大承重板上，四根所述支架上设置有多层承重板，每个所述承重板的中心均开设有中心孔，每个所述中心孔内均穿设有一挂钩，每个挂钩的下端均挂设有石墨托盘。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 湖南兴晟新材料科技有限公司 用于制备石墨托盘CVD-SiC涂层的水平悬挂式旋转装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD