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【实用新型】气浮旋转装置_上海隐冠半导体技术有限公司_202020457713.1 

申请/专利权人:上海隐冠半导体技术有限公司

申请日:2020-04-01

公开(公告)日:2020-11-27

公开(公告)号:CN212029017U

主分类号:F16M11/08(20060101)

分类号:F16M11/08(20060101);F16M11/18(20060101);F16C32/06(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2020.11.27#授权

摘要:本实用新型涉及一种气浮旋转装置,包括:托盘;托盘支撑件,位于托盘下方,并相对于托盘径向固定,托盘支撑件包括:圆筒部;上端板,为从圆筒部的上边缘径向向外延伸的环形板;下端板,为从圆筒部的下边缘径向向外延伸的环形板;气浮套,围绕圆筒部设置,且设有与气源连通的内部气道,内部气道分别在气浮套的顶面、底面、以及径向内周表面设有开口;底座;旋转驱动装置,包括旋转驱动部和固定部,旋转驱动部与托盘支撑件固定连接,固定部与气浮套和底座固定连接。根据本实用新型的气浮旋转装置能够通过径向和端面气浮轴承为托盘提供旋转方向导向,从而实现托盘的高精度旋转运动。且气浮旋转装置结构简单,实现扁平化设计。

主权项:1.一种气浮旋转装置,其特征在于,包括:托盘;托盘支撑件,所述托盘支撑件位于所述托盘下方,并相对于所述托盘径向固定,所述托盘支撑件包括:圆筒部,上端板,所述上端板为从所述圆筒部的上边缘径向向外延伸的环形板,下端板,所述下端板为从所述圆筒部的下边缘径向向外延伸的环形板,气浮套,所述气浮套围绕所述圆筒部设置,且设有与气源连通的内部气道,所述内部气道分别在所述气浮套的顶面、底面、以及径向内周表面设有开口;底座;旋转驱动装置,所述旋转驱动装置包括旋转驱动部和固定部,所述旋转驱动部与所述托盘支撑件固定连接,所述固定部与所述气浮套和所述底座固定连接。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 上海隐冠半导体技术有限公司 气浮旋转装置

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