申请/专利权人：合肥杰发科技有限公司

申请日：2019-05-30

公开（公告）日：2020-12-01

公开（公告）号：CN112014596A

主分类号：G01P15/12(20060101)

分类号：G01P15/12(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.10.28#授权;2020.12.18#实质审查的生效;2020.12.01#公开

摘要：本申请公开了加速度计及其制作方法。其中，所述加速度计包括结构层，所述结构层包括：边框结构，所述边框结构形成有一容置空间；固支梁，所述固支梁设在所述容置空间中；质量块，所述质量块设于所述固支梁上；检测电路，所述检测电路用于基于所述质量块产生的所述作用力而输出至少一轴向加速度对应的电信号，其中，检测电路包括：至少两个应变电阻，所述至少两个应变电阻分别设于所述固支梁靠近所述质量块的一端或两端上；至少两个匹配电阻，所述至少两个匹配电阻设于所述质量块上；其中，所述至少两个应变电阻与所述至少两个匹配电阻组成至少一组惠斯通电桥。上述方案，能够削弱加速度的交叉耦合干扰。

主权项：1.一种加速度计，其特征在于，包括结构层，所述结构层包括：边框结构，所述边框结构形成有一容置空间；固支梁，所述固支梁设在所述容置空间中；质量块，所述质量块设于所述固支梁上，在所述加速度计受到加速度时，所述质量块由于所述加速度而对所述固支梁产生作用力；检测电路，用于基于所述质量块产生的所述作用力而输出至少一轴向加速度对应的电信号；其中，所述检测电路包括：至少两个应变电阻，所述至少两个应变电阻分别设于所述固支梁靠近所述质量块的一端或两端上，所述应变电阻能够由于所述质量块产生的所述作用力而引起阻值变化；至少两个匹配电阻，所述至少两个匹配电阻设于所述质量块上；其中，所述至少两个应变电阻与所述至少两个匹配电阻组成至少一组惠斯通电桥，每组惠斯通电桥用于产生一目标轴向加速度对应的电信号；所述惠斯通电桥在所述加速度计受到所述目标轴向加速度时产生的所述电信号大于在所述加速度计受到非目标轴向加速度时产生的所述电信号。

全文数据：

权利要求：

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