申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2020-05-26

公开（公告）日：2020-12-01

公开（公告）号：CN112017994A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101);H01L21/306(20060101)

优先权：["20190531 JP 2019-103290"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.12.18#实质审查的生效;2020.12.01#公开

摘要：本发明的提供基板处理装置以及基板处理方法。基板处理装置通过第一供给配管供给稀释用液，通过第二供给配管供给药液。通过调整部调整流过第一供给配管的稀释用液的流量。在混合罐中对通过第一供给配管供给的稀释用液和通过第二供给配管供给的药液进行混合。通过浓度计测量稀释用液和药液的混合液中的药液的浓度。通过控制部决定稀释用液的流量的修正量以便通过浓度计测量的浓度成为设定值，将所决定的修正量提供给调整部。调整部根据所提供的修正量，修正流过第一供给配管的稀释用液的流量。

主权项：1.一种基板处理装置，其使用稀释后的药液对基板进行处理，其特征在于，该基板处理装置具备：第一配管，其供给稀释用液；第二配管，其供给药液；第一调整部，其调整流过上述第一配管的稀释用液的流量；混合罐，其将通过上述第一配管供给的稀释用液和通过上述第二配管供给的药液进行混合；浓度计，其测量稀释用液和药液的混合液中的药液的浓度；以及控制部，其决定稀释用液的流量的修正量以便通过上述浓度计测量的浓度成为设定值，并将所决定的修正量提供给上述第一调整部，上述第一调整部根据由上述控制部提供的修正量，修正流过上述第一配管的稀释用液的流量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置以及基板处理方法

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