申请/专利权人:台湾富士电子材料股份有限公司
申请日:2020-05-27
公开(公告)日:2020-12-01
公开(公告)号:CN112007418A
主分类号:B01D36/00(20060101)
分类号:B01D36/00(20060101)
优先权:["20190529 TW 108118567"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2020.12.18#实质审查的生效;2020.12.01#公开
摘要:本公开涉及一种化学液体纯化装置,包括槽体、回流管、液体运送泵、过滤装置及管道。槽体具有连通至槽体内的存储空间的液体通道口及循环口。回流管的一端连接至循环口且另一端延伸至存储空间。液体运送泵及过滤装置位于槽体外部、液体通道口与循环口之间。管道将液体运送泵及过滤装置连接至液体通道口及循环口。本公开更涉及一种使用所述的化学液体纯化装置的纯化方法。据此,可在纯化装置中执行过滤循环。因此,可简化传统方法中所需要的溶剂装填工艺及溶剂填充工艺,且可改善制造时间。
主权项:1.一种化学液体纯化装置,包括:槽体,具有连通至所述槽体内的存储空间的液体通道口及循环口;回流管,所述回流管的一端连接至所述循环口且另一端延伸至所述存储空间;液体运送泵及过滤装置,位于所述槽体外部且位于所述液体通道口与所述循环口之间;以及管道,将所述液体运送泵及所述过滤装置连接至所述液体通道口及所述循环口。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 台湾富士电子材料股份有限公司 化学液体纯化装置及使用所述装置的纯化方法
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