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【发明公布】基板处理方法以及基板处理装置_株式会社斯库林集团_202010470263.4 

申请/专利权人:株式会社斯库林集团

申请日:2020-05-28

公开(公告)日:2020-12-01

公开(公告)号:CN112017952A

主分类号:H01L21/06(20060101)

分类号:H01L21/06(20060101);H01L21/02(20060101)

优先权:["20190531 JP 2019-103277"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2020.12.18#实质审查的生效;2020.12.01#公开

摘要:本发明提供基板处理方法以及基板处理装置。基板处理方法包括:药液处理工序,保持覆盖基板的图案形成面的药液的液膜,并使用药液来处理图案形成面;中间处理工序,使用中间处理液来处理图案形成面;填充剂喷出工序,朝向图案形成面喷出填充剂;填充剂扩大工序,使填充剂朝向基板的外周扩展;固化膜形成工序,在图案形成面形成填充剂的固化膜;下位置配置工序,将遮断部件配置在下位置并维持在下位置;以及遮断部件上升工序,朝向位于比下位置更靠上方的上位置开始遮断部件的上升。药液处理工序包括从中央喷嘴朝向图案形成面喷出药液的工序。填充剂扩大工序包括在遮断部件位于上位置的状态下开始图案形成面上的填充剂的扩大的工序。

主权项:1.一种基板处理方法,其特征在于,包括以下工序:基板保持工序,在使形成有图案的图案形成面朝向上方的状态下,将基板保持于基板保持单元;药液处理工序,在上述图案形成面上保持覆盖上述图案形成面的药液的液膜,使用上述药液的液膜所含的药液来处理上述图案形成面;中间处理工序,在上述药液处理工序之后,在上述图案形成面上保持覆盖上述图案形成面的中间处理液的液膜,并使用上述中间处理液的液膜所含的中间处理液来处理上述图案形成面;填充剂喷出工序,在上述中间处理工序之后,朝向上述图案形成面喷出作为用于填充上述图案间的液体的填充剂;填充剂扩大工序,通过使上述基板绕铅垂的旋转轴线进行旋转,使供给至上述图案形成面的填充剂朝向上述基板的外周扩展;固化膜形成工序,通过使供给至上述图案形成面的填充剂固化,从而在上述图案形成面形成填充剂的固化膜;下位置配置工序,在开始上述药液处理工序之前,将遮断部件配置在将上述图案形成面的上方的空间与该空间的外侧的空间的气氛遮断的下位置,然后,将上述遮断部件维持在上述下位置,上述遮断部件具备圆板部和从上述圆板部的外周部向下方延伸的圆筒部,该圆板部具有相对于上述基板从上方对置的基板对置面;以及遮断部件上升工序,在开始上述填充剂扩大工序之前,在由上述基板保持单元保持的基板的上述图案形成面被上述中间处理液的液膜覆盖的状态下,朝向位于比上述下位置更靠上方的上位置,开始上述遮断部件的上升,上述药液处理工序包括以下工序:从具有与上述图案形成面的中央部对置的中央部喷出口且与上述圆板部结合的中央喷嘴朝向上述图案形成面喷出药液,上述填充剂扩大工序包括以下工序:在上述遮断部件位于上述上位置的状态下,开始上述图案形成面上的填充剂的扩大。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社斯库林集团 基板处理方法以及基板处理装置

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