申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2020-05-29

公开（公告）日：2020-12-01

公开（公告）号：CN112017997A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101);H01L21/311(20060101);H01L27/11524(20170101);H01L27/11551(20170101);H01L27/1157(20170101);H01L27/11578(20170101)

优先权：["20190531 JP 2019-103046"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.12.18#实质审查的生效;2020.12.01#公开

摘要：本发明涉及基板处理装置、基板处理系统及基板处理方法。本发明的课题在于根据处理的进展来调节处理液的循环流量。基板处理装置1具有：处理槽11，其使基板W浸渍于处理液；溢流槽12，其对从处理槽溢出的处理液进行回收；循环配管13，其将处理槽11与溢流槽12连接而使处理液循环；旁通配管20，其绕过设置于循环配管13的管线上加热器16和过滤器17而与循环配管13并行地连接；和开闭阀21，其对旁通配管20进行开闭，在硅浓度增高的蚀刻初期等将开闭阀21打开，使处理槽11中的处理液的流量增加。

主权项：1.基板处理装置，其特征在于，在用处理液对基板进行处理的基板处理装置中，具备：处理槽，其贮存所述处理液，使所述基板浸渍于该处理液而对其进行所述处理；溢流槽，其对从所述处理槽溢出的所述处理液进行回收；循环配管，其将所述溢流槽与所述处理槽连通连接；泵，其设置于所述循环配管，使所述处理液循环；管线上加热器，其设置于所述循环配管，将所述处理液调温至处理温度；过滤器，其设置于所述循环配管，将所述处理液中的异物除去；第一旁通配管，其在所述管线上加热器及所述过滤器的上游侧从所述循环配管分支出，绕过所述管线上加热器及所述过滤器而与所述循环配管并行地连接；第一开闭阀，其对所述第一旁通配管进行开闭；和控制部，其控制所述第一开闭阀的开闭从而对在所述处理槽中流通的所述处理液的流量进行调节。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置、基板处理系统及基板处理方法

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